Gebraucht RUDOLPH / AUGUST WV320 #293587810 zu verkaufen

RUDOLPH/AUGUST WV320 ist eine revolutionäre, integrierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage. Das System besteht aus einem einzigartigen optischen Interferometer basierten Prüfkopf, der auf einer hochpräzisen CNC-gesteuerten Abtaststufe montiert ist. Die Scanstufe ist computergesteuert und kann bis zu drei unabhängige Achsen bewegen. Jede Achse ist in der Lage, den Kopf bis zu 5 Millimeter in x-, y- und z-Richtung zu verschieben. Die Einheit verwendet ein Festkörper-Interferometer, bestehend aus einer Lichtquelle, einer Linse, einem Okular und einem Polarisationswürfel. Der Polarisationswürfel dient dazu, Licht von und auf die Oberfläche der zu inspizierenden Maske oder Scheibe zu lenken. Das Licht, das von der Oberfläche reflektiert wird, wird von der Linse gesammelt, so dass eine Bildaufnahme möglich ist. AUGUST WV320 Maschine kann sowohl flache als auch gebogene Wafer und Masken mit hoher Genauigkeit inspizieren. Das Werkzeug ist für Sub-Mikron-Inspektionen mit einer messbaren Auflösung von 0,25 Mikrometern ausgelegt. Die Inspektionsgeschwindigkeit ist von 0,5 bis 3,5 Hz einstellbar, abhängig von der Größe des zu inspizierenden Wafers oder der Maske. Das Asset kann Fehler erkennen, die von Rundungen, Rissen, Zerkleinern und Seitenwandausfällen bis zu übermäßigem Verschleiß an der Glasabdeckplatte reichen. Das Modell kann auch KEs wie Seitenwandgeometrie, Bohrungsgröße und -steigung, Mikrovias, Spuren, Raster und andere KEs messen. Neben Fehler- und Merkmalsmessungen verfügt das Gerät über die einzigartige Kapazität, sowohl quantitative als auch statistische binäre Daten bereitzustellen. Dies ist besonders vorteilhaft bei der Auswertung von dispergierten Merkmalsmustern. Das System ist auch mit spezieller Software ausgestattet, die es ermöglicht, Fehlerverteilungen und andere Funktionen bei der Prüfung einer Probe zu erkennen. Die Software bietet auch automatische Kalibrierroutinen für eine schnellere Fehlererkennung. RUDOLPH WV 320 ist eine zuverlässige und benutzerfreundliche Inspektionsmaschine für Wafer- und Maskenanwendungen. Es bietet schnelle, genaue und wiederholbare Fehlererkennung und Eigenschaftsmessungen mit einer Auflösung, die für alle Halbleiteranwendungen geeignet ist. Die Software innerhalb des Inspektionstools bietet die Möglichkeit, Fehlerverteilungen und komplexe Muster mit Leichtigkeit zu identifizieren. Damit ist WV 320 eine ideale Wahl für die heutige anspruchsvolle Halbleiterindustrie.