Gebraucht RUDOLPH / AUGUST WV320 #9350873 zu verkaufen
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ID: 9350873
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Macro inspection system, 12"
2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST WV320 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionseinrichtung zur Inspektion von Halbleiterscheiben und Masken auf Defekte. Es verwendet optische Mikroskopie und hochauflösende Bildgebung, um sowohl die Vorder- als auch die Rückseite der Wafer oder Masken zu inspizieren. Das System kann Partikel, Linienfehler, Gruben, Flecken und andere Unregelmäßigkeiten präzise identifizieren. Das optische Bild wird mit einer Auflösung von bis zu 20 Megapixel für ein detailliertes, hochauflösendes Bild aufgenommen und kann Funktionen bis zu 01 µm (10 nm) erkennen. Es ist auch mit rückseitiger Apertur-Bildgebung ausgestattet, die eine automatisierte rückseitige Inspektion von Wafern mit erweiterten Funktionen wie hochkontrastvolle reflektometrische Bildgebung ermöglicht. AUGUST WV320 verfügt zudem über eine große, einstellbare Baufläche für Wafer bis 200 mm Durchmesser. Es kommt mit einer benutzerfreundlichen GUI und wird mit einem Touchscreen-Controller gesteuert. Darüber hinaus steht ein automatisierter Waferzuführer zur Verfügung, der eine schnelle und effiziente Inspektion großer Wafer-Chargen ermöglicht. Das Gerät umfasst auch eine automatisierte Fehlererkennungsmaschine, die Defekte automatisch erkennt und klassifiziert, für eine schnelle und effiziente Verarbeitung. Das Werkzeug kann eine Vielzahl von Defekten erkennen, wie Partikel, Linienfehler, Gruben, Flecken und andere Merkmale. Es ist mit fortschrittlichen Algorithmen ausgestattet, die es dem Asset ermöglichen, Art und Größe des Fehlers genau zu klassifizieren. Schließlich bietet RUDOLPH WV 320 schnelle Reaktion Auto-Fokus und Auto-Zoom. Dadurch kann das Modell schnell auf Änderungen in der Probe reagieren, beispielsweise durch Temperatur- oder Spannungsschwankungen. Dies erhöht die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Inspektion und verbessert die Gesamteffizienz der Ausrüstung. Zusammenfassend ist WV320 ein modernes Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das Halbleiterscheiben und Masken mit hochauflösender Bildgebung und automatisierter Fehlererkennung inspizieren kann. Seine erweiterten Funktionen, wie eine benutzerfreundliche GUI, automatische Wafer-Feeder, und schnelle Auto-Fokus und Auto-Zoom, machen es zu einer effizienten und leistungsstarken Maske und Wafer Inspektion Einheit.
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