Gebraucht RUDOLPH / AUGUST XPORT #293644799 zu verkaufen
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ID: 293644799
Weinlese: 2008
Wafer inspection system
Missing parts:
Robot
PC
2008 vintage.
RUDOLPH/AUGUST XPORT ist eine anspruchsvolle und präzise Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Es wurde entwickelt, um sowohl große als auch kleinere Produktionsanforderungen zu erfüllen. Es bietet zerstörungsfreie Waferinspektions- und Maskeninspektionsmöglichkeiten, die erweiterte Fähigkeiten wie Röntgenstreuung, optische Streuung und 3D-Profilmessungen nutzen. Die XY-Achse des Systems ist eine robuste linearmotorisierte Stufe für präzise und zuverlässige Wafer- und Maskenpositionierung. Die Z-Achse der Einheit ermöglicht eine präzise Höhenverstellbarkeit im Nanometermaßstab. In das Werkzeug ist eine fortschrittliche Bild- und Beleuchtungsmaschine integriert, die eine präzise und genaue Erfassung von 3D-Bilddaten mit einer Auflösung von 0,25 bis 0,75 µm ermöglicht. Die integrierte optische Anlage ist in der Lage, drei Arten der Datenerfassung, nämlich: Oberflächeninspektion, Wafer und Maskeninspektion; Schattenbilder; und 3D-Profildatenerfassung. Es bietet auch automatisierte Oberflächenbildgebung und Fehleranalyse. Es beinhaltet ein Hochleistungs-Vision-elektronisches Modell für fortschrittliche Bühnensteuerungen und zur Steuerung der Bildgebungs- und Messsysteme. Die integrierte Datenerfassungssoftware ermöglicht den einfachen Zugriff und die Kontrolle aller Parameter und ermöglicht es dem Anwender, die Bilddaten exzellent zu analysieren und zu verfolgen. Die Ausrüstung ist sehr anpassungsfähig an sich ändernde Kundenanforderungen und verschiedene Anwendungen. Es kann einfach am Kundenstandort installiert werden und wird vollständig von einem Serviceteam unterstützt. AUGUST XPORT ist ein ausgeklügeltes Masken-Wafer-Inspektionssystem zur genauen und hochauflösenden Datenerfassung. Es bietet eine fortschrittliche Bildverarbeitungs- und Beleuchtungseinheit, XY- und Z-Achsen-Staging und Hochgeschwindigkeits-Visionselektronik. Mit intuitiver Datenanalyse und Display-Software bietet es eines der effizientesten Masken- und Wafer-Inspektionssysteme auf dem Markt.
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