Gebraucht RUDOLPH AXI-935D #9385106 zu verkaufen

RUDOLPH AXI-935D ist eine hochmoderne Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterindustrie. Es ist ein umfassendes System, das hilft, Fehler an Masken und Wafern zu erkennen und zu analysieren. Das Gerät besteht aus verschiedenen Komponenten wie Linsensystemen, Laserinterferometriemikroskopen und anderen Optiken, die zur Erfassung und Analyse hochauflösender Bilder beitragen. Die Maschine ist mit Präzisionsbewegungsstufen ausgestattet, die die Maske oder den Wafer entweder mechanisch oder über einen motorgesteuerten Vorschub bewegen können. Es rüstet auch eine Bühne aus, die die Objekte für die 360-Grad-Bildgebung drehen kann. Das Tool wurde entwickelt, um sowohl traditionelle 2D-Bildgebung als auch fortschrittliche 3D-Bildgebung zu unterstützen. Es ermöglicht eine breite Palette von Bilderfassungsmethoden wie totale interne Reflexion, Epi-Beleuchtung, Dunkelfeld und schräge Betrachtung und ist in der Lage, Bilder mit 10nm Auflösung zu erfassen. Die Teilsysteme von RUDOLPH AXI 935D sollen Defekte analysieren und mit einem zuvor erworbenen „goldenen Bild“ vergleichen, um zu erkennen, welche Bereiche betroffen sind. Es kann Fehler bis zu einer Größe von 0,2 Mikrometern erkennen und genaue und zuverlässige Informationen über Fehler wie Größe, Seitenverhältnis, Kontrast und Intensität liefern. AXI 935 D beinhaltet auch einen umfassenden Satz von Bildverarbeitungstools zur Analyse der Bilddaten und zur Extraktion kritischer Fehlerparameter. Diese Tools helfen, Fehler zu identifizieren und sie von Hintergrundbeschränkungen zu isolieren. Es kann auch verwendet werden, um Prozessfehler zu identifizieren, Ertragsverluste zu ermitteln und kritische Fehler zu identifizieren, die zu Prozessausfällen führen können. Darüber hinaus kann das Asset angepasst werden, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen, indem Funktionen wie erweiterte Fehlerfilterung, Fehlerklassifizierung und erweiterte Mustererkennung hinzugefügt werden. Das Modell ist auch modular aufgebaut und kann mit zusätzlichen Komponenten wie höheren Vergrößerungsobjektiven oder austauschbarer Optik leicht aufgerüstet werden. Zusammenfassend ist AXI-935D eine zuverlässige und vielseitige Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die höchste Genauigkeit und Produktivität bei der Masken- und Wafer-Inspektion garantiert. Es ist hochkonfigurierbar, leicht aufrüstbar und in der Lage, detaillierte und genaue Fehleranalysen bereitzustellen.