Gebraucht RUDOLPH NSX 115D #9260018 zu verkaufen

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ID: 9260018
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Automatic defect inspection system, 12" Vacuum chuck lift pin damaged 2009 vintage.
RUDOLPH NSX 115D ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Erkennung von Kontaminationen, Oberflächenfehlern und anderen Unregelmäßigkeiten bei der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Dieses System, das eine erstklassige automatisierte Leistung bietet, verfügt über eine Lichtquelle mit einer 4.7kW Xenon-Lampe, einer programmierbaren Optik und einer bildgebenden Einheit mit hochauflösenden CMOS-Sensoren. Mit einem Gesamtansichtsfeld von bis zu 1K x 2K Pixel kann die Maschine Maske und Wafer auf Funktionen bis zu 5 μ m prüfen. NSX 115D verfügt über die patentierte SSR (Sub-Pixel Response) Bildverarbeitungstechnologie, die eine 100% Pixel-Level-Wafer- und Maskenfehlererkennung ermöglicht. Es verwendet ein bildbasiertes Messtechnik-Tool, um Funktionen und Fehler mit nur wenigen Minuten praktischer Zeit schnell zu erkennen und zu messen. Die Anlage ist auch mit einer Vielzahl von Software-Anwendungen ausgestattet, einschließlich WaferMask, ein Maske/Retikle-Inspektionswerkzeug; WaferMarker, ein automatisiertes Wafer-Inspektionswerkzeug; und WaferMapper, ein Mapping/Focus-Tool. Alle diese Anwendungen sind über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) zugänglich. Darüber hinaus unterstützt RUDOLPH NSX 115D eine Vielzahl von Datenausgabeformaten wie TIF, BMP, JPG und PDF. Es verfügt außerdem über einen optionalen OCR-ID-Leser (optische Zeichenerkennung), der verschiedene Arten von Text und Symbolen auf einem Wafer oder einer Maske erkennen kann. Das Modell wird auch mit einem umfassenden Hardware-Support-Paket geliefert, das einen verstellbaren Beleuchtungstisch, einen Vakuumstab, automatisches Scannen und Laden von Wafern und mehrere Kamerapositionen umfasst. NSX 115D ist das perfekte Werkzeug zur automatisierten Erkennung von Merkmalen und Defekten in Masken und Wafern. Mit seinem umfassenden Hardware- und Softwarepaket bietet es erstklassige Leistung und Zuverlässigkeit. Die Unterstützung einer Vielzahl von Datenformaten sorgt dafür, dass sie einfach in jeden Halbleiterherstellungsprozess integriert werden kann. Damit ist RUDOLPH NSX 115D die ideale Wahl für jeden Halbleiterprozess, der eine automatisierte Inspektion und Diagnose von Masken- und Waferinspektion erfordert.
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