Gebraucht RUDOLPH / ONTO INNOVATION WHS220 #293585586 zu verkaufen

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ID: 293585586
Weinlese: 2010
Macro defect inspection system 2010 vintage.
RUDOLPH/ONTO INNOVATION WHS220 ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Inspektion von Wafern und Masken. Es wird mit einem Standard-Intel Core i5 Prozessor betrieben und kann leicht mit zusätzlicher dedizierter Hardware wie Image-Prozessoren, größerem RAM und mehr Festplattenspeicher aktualisiert werden, um seine Leistung zu verbessern. RUDOLPH WHS220 basiert auf einem Windows 10 Pro Betriebssystem und einer robusten Hardware-Plattform, die zuverlässige und wiederholbare Inspektionsergebnisse gewährleistet. Das Gerät verfügt über eine Vibrationsstufe, in der die zu inspizierenden Quarzscheiben platziert werden. Die Stufe wird von einem fortschrittlichen Pfannkuchenschrittmotor angetrieben, der die Bühne gleichzeitig entlang der X-, Y- und Z-Achse bewegen lässt, wodurch die Maschine die gesamte Waferoberfläche queren und Daten zu ihren Merkmalen erfassen kann. Die Bühne gewährleistet auch eine genaue und wiederholbare Ausrichtung der Eigenschaften des Wafers über die Kamera während des Inspektionszyklus. ONTO INNOVATION WHS220 integriert optische Inspektionstechnologie und eine hochpräzise kommerzielle Kamera, um Bilder von den Merkmalen des Wafers zu erfassen. Um optimale Abbildungsbedingungen zu gewährleisten, wird ein helles telezentrisches Beleuchtungswerkzeug verwendet, das eine gleichmäßige Beleuchtung über die gesamte Bühne und das gesamte Sichtfeld liefert. Ein Bildverarbeitungsalgorithmus analysiert dann die Größe und Form des KE, um die Korrektheit jedes einzelnen Elements zu bestimmen. WHS220 verfügt zudem über ein integriertes Maskeninspektionsmodul zur Inspektion von Stempeln und Masken. Ein 5-Achs-Roboterarm wird verwendet, um die Matrizen zur Maskeninspektion genau auf die Bühne zu legen. Das Gerät enthält auch eine helle Kaltlichtdiode (LED) -Beleuchtung und eine 6-Megapixel-Kamera, die Bilder erfasst, die mit einem vordefinierten Satz von Pass/Fail-Kriterien verglichen werden, um die Genauigkeit der einzelnen Elemente der Maske zu bewerten. RUDOLPH/ONTO INNOVATION WHS220 ist das ideale Werkzeug, um Fehler an Quarzscheiben und Masken zu erkennen, da es schnelle, genaue und wiederholbare Ergebnisse liefert. Das Modell ist einfach zu bedienen, mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche, die für Techniker, Forscher und andere Benutzer entwickelt wurde. Darüber hinaus läuft es auf einer fensterbasierten Plattform, die eine einfache Integration in andere Prozesse ermöglicht. Für mehr Genauigkeit und Leistung ist die Ausrüstung mit zusätzlichen Hardware- und Software-Optionen auf Anfrage stark anpassbar.
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