Gebraucht RUDOLPH SWS #9378745 zu verkaufen

ID: 9378745
Weinlese: 2013
Macro defect inspection system 2013 vintage.
RUDOLPH SWS ist ein hochmodernes Masken- und Wafer-Inspektionssystem von RUDOLPH Technologies, Inc. Das System ist für den Einsatz in Halbleiterfabriken konzipiert, wo es eine automatisierte Lösung für die anspruchsvolle Aufgabe der Masken- und Waferinspektion bietet. SWS kombiniert ausgefeilte Beleuchtung und Optik mit fortschrittlichen Software-Algorithmen, um Unvollkommenheiten in den Wafern oder Masken zu erkennen, die während des Herstellungsprozesses zu Problemen führen könnten. Die erste Stufe des Masken- & Wafer-Inspektionsprozesses ist ein Wafer-Scan, der einen Roboterarm nutzt, um eine Kamera schnell und genau über die Oberfläche eines Wafers zu positionieren und gleichzeitig Daten wie Reflexion, Oberflächentopographie und Bindungsenergie zwischen der Oberfläche und der Maske zu sammeln. Dieser anfängliche Scan des Wafers erzeugt eine detaillierte Karte, mit der mögliche Fehler an der Oberfläche erkannt werden können. Die zweite Stufe des Masken- & Wafer-Inspektionsprozesses überprüft die Masken selbst auf Fehler oder Unregelmäßigkeiten. Die Maske wird verdeckt auf einem Tisch platziert und eine spezialisierte Kamera scannt das Bild nach Anomalien. Dies geschieht mit einer Mischung aus reflektiertem Licht und Mikroskopie, um sicherzustellen, dass auch die kleinsten Unvollkommenheiten erkannt werden. Die dritte Phase des Masken- & Wafer-Inspektionsprozesses beinhaltet den Vergleich zwischen Maske und eigentlichem Wafer. RUDOLPH SWS verwendet ausgeklügelte Software-Algorithmen, um die beiden Bilder zu vergleichen und Abweichungen zwischen dem Aussehen der Maske und dem tatsächlichen Wafer zu erkennen. Sollten Abweichungen festgestellt werden, ist SWS in der Lage, den Fehler hervorzuheben und Mensch-Inspektoren zu benachrichtigen, bei denen Aufmerksamkeit zu beachten ist. Schließlich beinhaltet die vierte Phase der Masken- & Wafer-Inspektion die Überprüfung der Ergebnisse. RUDOLPH SWS ist in der Lage, detaillierte 3D-Berichte über den Masken- und Wafer-Inspektionsprozess zu erstellen und einen detaillierten Überblick über alle identifizierten Probleme zu geben. Auf diese Weise können menschliche Inspektoren schnell alle Probleme identifizieren, die sie möglicherweise angehen müssen, sodass sie Einblicke in den Herstellungsprozess erhalten und zur Verbesserung der Erträge beitragen können. SWS ist ein beeindruckendes System, das es Halbleiterfabriken ermöglicht, ihre Masken- und Wafer-Inspektionsprozesse zu automatisieren und sich einen Überblick über einen gesamten Wafer mit einer viel höheren Genauigkeit im Vergleich zu manuellen Inspektionen zu verschaffen. Dies bietet eine hervorragende Chance zur Optimierung von Fertigungsprozessen und verbesserten Erträgen.
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