Gebraucht SDI CMS III-AR #9152693 zu verkaufen
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ID: 9152693
Contamination monitor system
Vacuum: 500 Torr or less
Cybeq 2830 Pre aligner
Single phase, 50/60 Hz, 110 V
Currently warehoused.
SDI CMS III-AR ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage mit fortschrittlichen Bildgebungs-, Analyse- und Berichtsfunktionen. Es nutzt den durchschnittlichen Vektordifferenz (AVD) -Algorithmus, einen erweiterten Inspektionsalgorithmus, der auf mehreren verschiedenen bildgebenden Techniken basiert, um Fehler auf Masken und Wafern schnell zu erkennen und zu lokalisieren. Das System verfügt über ein Top-Down-Laserprojektionsmodul, das mit einer Auflösung von 5 µm arbeitet, auf Masken- oder Waferproben mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm. Die bildgebenden Komponenten des Geräts bieten eine verbesserte Genauigkeit und Auflösung, um subtile Fehler wie Linienbreitenvariationen oder Überbrückungen zu erkennen. Die vielseitigen Analysewerkzeuge können sowohl Fehler erkennen als auch beheben. Masken- und Wafer-Profil- und Overlay-Registrierung, automatisierte Fehlerformanalyse und Defekt-Seed-Analyse sind alle integrierten Funktionen. Die Bühne auf dem Gerät ist in der Lage, schwere Lasten zu handhaben und kann für die großflächige Bildgebung verwendet werden. Es enthält auch einen hochauflösenden Encoder für überlegene Positioniergenauigkeit. Viele Konfigurationen sind verfügbar, mit bis zu drei Kameras für die RGB-Bildgebung oder Mehrstrahl-Laserlichtquellen für mehr Genauigkeit. Eine computergesteuerte optische Maschine kalibriert die Strahlen und Kameras für optimale Bildgebungs- und Messleistung. Die Software des Tools bietet eine ausgeklügelte grafische Benutzeroberfläche, die mehrere Bilder und Grafiken vergleichen und synchronisieren kann. Es unterstützt auch eine breite Palette von Formaten für den Datenaustausch und die Speicherung. Bildanalyse- und Berichtsfunktionen sind hochgradig anpassbar, mit anpassbaren Quellen und modularen Analysetools. Erweiterte Berichtsfunktionen ermöglichen eine schnelle und einfache Datenausgabe für alle Arten von Fehlererkennung und -messungen. CMS III-AR ist ein sehr vielseitiges Asset, das sich für eine Reihe von Produktionsumgebungen eignet. Sein einzigartiges Feature-Set bietet eine kostengünstige Möglichkeit, den Ertrag in modernen Produktionsumgebungen zu steigern. Mit seinen fortschrittlichen Fähigkeiten garantiert es eine optimale Prozessleistung und gewährleistet eine hervorragende Produktqualität.
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