Gebraucht SDI SPV / PDM 3020-P #138848 zu verkaufen

SDI SPV/PDM 3020-P Mask & Wafer Inspection Equipment ist ein umfassendes automatisiertes Werkzeug, das für die Inspektion von Siliziumwafern auf Photomaskenebene optimiert ist. Das System ist so konzipiert, dass es beispiellose Präzision und Genauigkeit bei der Erkennung von Defekten, wie z. B. Linienkantenrauhigkeit und Mikro-Shorts, auf Silizium-Wafern bietet. SPV/PDM- 3020-P können Wafer-Topographie, Overlay-Ziele genau messen und Lithographie-Prozessvariationen überwachen. Das Gerät bietet fortschrittliche Funktionen wie automatisierte Messung kritischer Dimensionen (CD), automatisierte Fehlererkennbarkeit und automatische Fehlerisolierung mit Laserinterferometrie. Diese Merkmale bieten eine bessere Prozesskontrolle und verbesserte Ausbeute. SDI SPV/PDM- 3020-P können eine breite Palette von Fehlern erkennen, wie z. B. Linienkantenrauhigkeit, Kantenzieherkerben, Maskenfeldvariationen, Musterverschiebung, Fehlausrichtung, andere Formverformungen und Mikro-Shorts. Die Maschine wurde mit einer Reihe von Vorteilen zur Unterstützung der maskenbezogenen Prozessüberwachung gebaut. Das 3020-P unterstützt beispielsweise die Inline- und Post-Wafer-Verarbeitung mit einer Vielzahl von Softwarepaketen. Dies ermöglicht eine schnelle Beurteilung der Lithographie-Prozessabweichung, genaue Überlagerung und kritische Maßmessung. Es enthält auch einzigartige Steuerungsalgorithmen für verschiedene Arten von Masken, einschließlich kritischer Dimensionsschicht, lokaler CD-Schicht, genauem Feature-Matching und Overlay, hochenergiekritischer Dimension SAR (Signal to Noise Ratio) und hochpräziser optischer CD. SPV/PDM 3020-P wurde entwickelt, um eine extrem hochauflösende Messtechnik bis zu 90nm bereitzustellen. Es hat einen hohen Durchsatz, so dass es bis zu zwei Wafer pro Stunde zu inspizieren, und unterstützt eine maximale Wafergröße von 300mm. Das Werkzeug ist zudem sehr effizient, erfordert einen minimalen Eingriff des Bedieners und verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche für eine einfache Bedienung. Das 3020-P eignet sich bestens für Produktionsumgebungen, Maskenläden und Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Die Anlage ist zudem kompakt und wiegt nur 250 kg und ist mit einem MTBF von 5.000 Stunden sehr zuverlässig. Sein Betriebstemperaturbereich kann von 18 bis 28 ° C und sein Feuchtigkeitsbereich von 10 bis 90% eingestellt werden. Letztendlich bietet SDI SPV/PDM 3020-P hervorragende Leistung, einfache Bedienung und hohe Effizienz und ist damit eine gute Wahl für die automatisierte Herstellung von Feinlinienphotomasken mit höchster Präzision.