Gebraucht SEMILAB / SDI FAaSt 210E-SPV #9203133 zu verkaufen
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ID: 9203133
Wafergröße: 6"-8"
Contamination measurement system, 6"-8"
Unislide rotary table B4818TS
NEWPORT MM3000 + 23556
AD TECHNOLOGY 3800-1745
PHOTON Wheel BO76
SPV Lightsource
SIGNAL RECOVERY 197 Light chopper
PLANAR PL100M
ADEK R7IFI48AB
PC700 Monster power center
Trip lite power production
Astrodyne MSCA-5005
API Getty 230-6102FH
EG&G INSTRUMENTS 7265
TEXAS INSTRUMENTS Peripherals DT-5K-PS/2
Logic supply power LPS-12
WATLOW 96
DANAHER 1122317
MG Chemicals 846-80G
Manuals not included
Power supply: 110 AC, 50/60 Hz, 3000 W.
SEMILAB/SDI FAaSt 210E-SPV ist eine mittelschwere Masken- und Wafer-Ausrichtungsmikroskop-Ausrüstung zur Untersuchung von Defekten, Erosion und Oberflächenintegrität in Halbleiterscheiben und Masken. Dieses System verfügt über eine integrierte automatisierte Gerätesteuerung (SC) mit benutzerfreundlicher intuitiver grafischer Benutzeroberfläche (GUI). Mit einer Baugröße von nur 800 mm x 680 mm x 640 mm ist diese Prüfmaschine kompakt und dennoch sehr vielseitig einsetzbar. SDI FAaSt 210E-SPV bietet eine Vielzahl von Funktionen, um Betreiber in der Halbleiterindustrie zu befähigen. Dieses Tool verfügt über eine 10-Position XYZ-Stufe, die in der Lage ist, mehrschichtige Inspektion, automatische und manuelle Bühnenausrichtung, Neigung und Taumeleinstellung und erweiterte Autofokus-Funktionen. Es bietet auch eine Hellfeld/Dunkelfeld-Bildanzeige mit Direct-on-Wafer-Betrieb, einen 6-Positionskondensator mit 0.3-2.5X Vergrößerungsbereich und einen bis zu 25X Arbeitsabstand. SEMILAB FAaSt 210E-SPV bietet auch Bildaufnahme- und Analysefunktionen auf verschiedenen Ebenen. Mit eingebauter Bildkorrektur können Fehlstellungen erkannt und genau identifiziert werden. Es enthält auch eine fortschrittliche algorithmusbasierte Feature-Identifikation und Maskierung für fehlerfreie Inspektion, Kantenerkennung und Partikelzählung und Größenanalyse. Darüber hinaus können eine Vielzahl von Messungen durchgeführt werden, einschließlich Linienbreite, Kantenprofil und Überlagerungsgenauigkeit. FAaSt 210E-SPV ist mit einer hochauflösenden CCD-Kamera, einer einstellbaren Belichtungszeit und einem leistungsstarken PC-basierten Bildanalysemodell ausgestattet, um eine noch größere Bandbreite an Fehlererkennung und -analyse zu generieren. Dieses Gerät enthält auch eine Reihe von Bildberichtsfunktionen, um Ergebnisse auszuwerten und den Pass/Fail-Status sofort anzuzeigen. Insgesamt ist SEMILAB/SDI FAaSt 210E-SPV ein zuverlässiges Masken- und Wafer-Inspektionssystem auf mittlerer Ebene, das auch kleinste Mängel zuverlässig erkennen und messen kann. Es bietet eine ganze Reihe von erweiterten Funktionen, um sicherzustellen, dass Benutzer in der Lage sind, die besten Ergebnisse aus ihrem Inspektionsprozess zu erhalten.
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