Gebraucht SEMILAB / SDI FAaSt 230 DP+SPV #293811109 zu verkaufen

SDI FAaSt 230 DP + SPV ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die zur Inspektion von Masken, Wafern und anderen optischen Gerätekomponenten während des Herstellungsprozesses verwendet wird. Das System ist mit einer automatisierten Inspektionsstufe und einer Automatisierungseinheit ausgestattet, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Werkstücken und verschiedene Inspektionen zu handhaben. Die Maschine verfügt über ein 23-Zoll-TFT-LCD-Dual-View-Display und Standard-programmierbare Logikcontroller (SPS), die den Workflow des Tools optimieren. Die Inspektionsstufe wird von SEMILAB exklusiv Dynamic Wafer Center angetrieben und ermöglicht eine präzise Positionierung und Bühnenbewegung. Das Asset verwendet außerdem einen integrierten Videosensor, der eine genaue Bildanalyse sowie Wafer- und Maskenidentifizierung ermöglicht. Das Modell hat einen automatischen Adapter von Zeiss für die genaue Maskenanordnung, eine objektive Schaulinse und den Filter mit einem NA 0,19, und eine scannende Hochleistungsdigitalelektronik für die Geschwindigkeit und Genauigkeit. Das Gerät ist mit einer leistungsstarken Lichtquelle ausgestattet, die bis zu 20W Licht zur effektiven Inspektion von Merkmalen bis zu 20 nm ausgeben kann. Es verfügt auch über Software, die eine visuelle Fehlerüberprüfung, Bildsegmentierung und Bildverarbeitung ermöglicht. Es unterstützt auch zahlreiche Bildanalyse-Algorithmen, wie Bildfilterung, Bildsubtraktion und Bildregistrierung, sowie eine Reihe von statistischen und morphologischen Parametern, wie Kontrast, Schärfe und Fehlerflächengröße. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Masken- und Wafer-Inspektionsaufgaben durchzuführen, wie z. B. die Mask Edge-Inspektion. Diese Inspektionen beinhalten ein Hochleistungsmikroskop zur Erkennung von Anomalien an den Rändern von Masken, einschließlich Defekten und Musterfehlern. Das Gerät ist auch in der Lage, genaue, wiederholbare und zuverlässige Fehlerklassifizierung und 3D-Defektvolumenmessung zu liefern. Die Maschine umfasst auch spezielle Werkzeuge für die SPV-Inspektion (Rastersondenmikroskopie). Die Software unterstützt eine fortschrittliche Datenanalyse und ermöglicht die Messung kleiner Strukturen auf der Oberfläche einer Maske oder eines Wafers. Das Tool verfügt über mehrere Funktionen für Datenerfassung, Ereignissteuerung, Analyse und Visualisierung. Abschließend ist SEMILAB/SDI FAaSt 230 DP + SPV eine vielseitige Masken- und Wafer-Inspektion, die präzise, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse mit einer höheren Betriebsgeschwindigkeit liefert. Das Modell umfasst ein 23-Zoll-TFT-LCD-Dual-View-Display, Standard-programmierbare Logikcontroller (SPS), integrierten Videosensor, automatischen Zeiss-Adapter für präzise Maskenausrichtung, Hochleistungslichtquelle, Inspektionsobjektiv, Filter und digitale Hochgeschwindigkeits-Elektronik. Es verfügt auch über eine leistungsstarke Suite von Software-Tools, die eine effektive Bildsegmentierung und Bildverarbeitung sowie verschiedene Bildanalyse-Algorithmen ermöglichen. Das Gerät ist in der Lage, zahlreiche Masken- und Wafer-Inspektionsaufgaben durchzuführen, einschließlich Mask Edge-Inspektion und SPV-Inspektionen (Rastersondenmikroskopie).