Gebraucht SEMILAB / SDI FAAST 330A #9382822 zu verkaufen

SEMILAB/SDI FAAST 330A ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die automatisierte Waferinspektion und anschließende Messung konzipiert ist. Die fortschrittliche, automatisierte Software hilft, Problembereiche auf Wafern und Masken in verschiedenen Geometrien zu einer Nanometerauflösung zu identifizieren und zu lokalisieren. Das System ist mit zwei vertikalen CCD-Kameras ausgestattet, die einen unübertroffenen Bildkontrast und eine Auflösung der Bildaufnahme bieten. Diese Kameras sind auch eingerichtet, um Bilder mit verschiedenen Skalen (3-5µm/Pixel) zur Inspektion verschiedener Arten von Strukturen zu erfassen. Dadurch kann der Bediener problemlos von der Inspektion kleiner Strukturen zu großen Strukturen wechseln. Das Gerät umfasst auch zwei vertikale Messsensoren. Die Sensoren sind in zwei Auflösungsstufen (bis 0,4 µm bzw. 1,2 µm) erhältlich. Sie dienen zur genauen Messung der vertikalen Geometrien der zu inspizierenden Strukturen. Zusätzlich ist auch eine Neigungsmessung der Struktur mit einer Auflösung von 0,1 ° möglich. Die präzise optische Ausrichtung von SDI FAAST 330A ermöglicht eine einfache und schnelle Wafer-Overlay-Ausrichtung bei gleichzeitiger Erfassung und Messung. Das automatische Wafer-Ausrichtungstool sorgt dafür, dass alle aufgenommenen Bilder exakt auf den Wafer ausgerichtet sind. Darüber hinaus umfasst die Maschine auch die Software Data Management and Process Control (DMPC). Diese modernste Software vereinfacht Inspektions- und Bearbeitungsprozesse, indem Bediener die gesamten Werkzeugprozesse von einem einzigen Kontrollpunkt aus steuern können. Schließlich verfügt SEMILAB FAAST 330A über eine integrierte automatische Kalibrierung, die die Genauigkeit des Modells überprüft und Feedback zu möglichen Problemen liefert. Das Feedback wird dann verwendet, um einen umfassenden Bericht mit allen Parametern zu erstellen, die angepasst werden müssen, um eine optimale Genauigkeit zu gewährleisten. FAAST 330A ist eine zuverlässige und umfassende Masken- und Wafer-Inspektionsanlage. Seine automatisierten und präzisen Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für die professionelle Masken- und Waferinspektion in mehreren Geometrien und Materialien.