Gebraucht SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9236853 zu verkaufen

SEMILAB/SDI FAaSt 350 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die fortschrittliche Mikroskopie- und optische Bildgebungstechniken verwendet, um Fehler und Variationen in der IC-Herstellung zu erkennen. Das System ist in der Lage, Lithographiemasken, Wafer und Retikel mit Auflösungen bis zu einem Submikron zu inspizieren. Es eignet sich für ein breites Anwendungsspektrum, einschließlich Poliermasken und Wafer, sowie hochgenaue Messung und Analyse von Musteranpassungs- und Maßeigenschaften. Das Gerät besteht aus einer Computersteuerung und einer digitalen Bildverarbeitungsmaschine mit einer beweglichen Bühne, die Proben mit einem Durchmesser von bis zu 350 mm aufnehmen kann. Das bildgebende Werkzeug umfasst fortgeschrittene optische Techniken wie grüne Laserinterferometrie und rot-grün-blaue Laserbildgebung. Dies ermöglicht eine nicht-invasive Inspektion von Masken- und Wafermaterialien und eine genaue 3D-Oberflächenanalyse. Die Anlage ist zudem mit einem konfokalen Mikroskop ausgestattet, das eine automatisierte Erkennung und Messung von Mikro- und Nanomessgeräten ermöglicht. Zur Messung von Mustern enthält SDI FAaSt 350 auch ein optisches Interferometer zur hochpräzisen Mustermessung, das etwa 40 nm Breite oder Höhenänderungen mit einer Auflösung bis zu 10 nm erfassen kann. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, andere Maßmerkmale mit einer hohen Genauigkeit und Geschwindigkeit zu messen. SEMILAB FAaSt 350 ist mit SDI SP3D Prüfsoftware integriert und ermöglicht eine schnelle und effiziente Fehlercharakterisierung. Das Gerät ist auch kompatibel mit mehreren Musteranpassungsalgorithmen und einer Reihe von optischen Mikroskopie-Analyseprotokollen, die eine effiziente Automatisierung von Prozessen ermöglichen. Darüber hinaus kann das System für Fehlerreparatur- und Maskenbau-Prozesse eingesetzt werden und umfasst eine sichere, hocheffiziente und benutzerfreundliche Schnittstelle, die mit CAD, SEM und PLM-Tools zusammengeführt werden kann. Abschließend ist FAaSt 350 eine fortschrittliche und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die mit fortschrittlichen optischen Bildgebungstechniken feine Defekte und Variationen erkennen kann. Die Maschine eignet sich sowohl für die Masken- als auch für die Waferinspektion und kann vielseitig für eine Reihe von messtechnischen und Inspektionsprozessen eingesetzt werden. Die SP3D Inspektionssoftware und die hochpräzisen Mustermessfähigkeiten machen dieses Tool zu einer idealen Lösung für das Scannen, die Inspektion und die Analyse von Masken und Wafern.