Gebraucht SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9382881 zu verkaufen
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ID: 9382881
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Wafer characterization system, 12"
2005 vintage.
SEMILAB/SDI FAaSt 350 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Produktionslinien in der Halbleiterherstellung. Dieses automatisierte System bietet einige der besten Inspektionsmöglichkeiten der Klasse und verfügt über ein konfokales ultragroßes Inspektionsfeld mit erweiterten 3D-Scan- und Ausrichtungsfunktionen. Das Gerät ist in der Lage, jede Größe Wafer, im Bereich von 15mm bis 400mm, mit 1µm Auflösung zu überprüfen. Dies ermöglicht ein hohes Maß an Detailtreue und Genauigkeit im bildgebenden Verfahren. SDI FAaSt 350 ist mit einem intelligenten, schnellen und genauen Autofokus sowie einem hochgenauen XYZ-Scanner ausgestattet, der Merkmale bis zu 0,1 μ m identifizieren und messen kann. Dies hilft bei der Erfassung fortschrittlicher Details von Wafern, die geprüft werden, einschließlich Fehler. Die Maschine verfügt auch über spezielle Onboard-Hardware zur Erkennung von Defekten und zur Erzeugung von Fehlerkarten, die in Echtzeit analysiert werden können, wodurch eine höhere Rückverfolgbarkeit und Fehlerkontrolle auf Wafer-Produktionslinien ermöglicht wird. Das Tool bietet auch Softwarelösungen zur Fehlererkennung, -analyse und -klassifizierung. Die SEMILAB FAaSt 350 Asset Software Suite umfasst eine Vielzahl von Bildgebungs- und Overlay-Tools mit vielen spezialisierten Funktionen für die Fehlererkennung, -analyse und -klassifizierung. Diese Software-Suite unterstützt eine Vielzahl von visuellen Funktionen wie Kontrastverbesserung, Mittelung, Schärfen und Defokussierung. Es ist auch in der Lage, Informationen über Partikelgröße und Anzahl, zusätzlich zu Defekt-Typ, um eine detaillierte Analyse der Wafer und Maske Produktionslinien. FAaSt 350 ist für Langlebigkeit und lange Lebensdauer konzipiert und gebaut, zum Teil dank seines Scanmodells mit geschlossenem Kreislauf und seiner qualitativ hochwertigen Kühlausrüstungskomponenten. Es kann in einem Bereich von Temperaturen von -10 ° C bis 50 ° C betrieben werden, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungsszenarien und Umgebungen geeignet ist. Seine kompakte Größe macht das System auch ideal für die Verpackung auf engem Raum. Da SEMILAB/SDI FAaSt 350 eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionseinheit ist, eignet es sich für den Einsatz in vielen industriellen Umgebungen, wie Reinräumen, Laboren oder Fertigungsanlagen. Die Maschine wird von vielen führenden Unternehmen vertraut und wird in mehreren Branchen auf der ganzen Welt verwendet, um Fehler mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit zu erkennen und zu identifizieren. Der automatisierte Funktionsumfang, die hervorragenden Bildgebungsfunktionen und die lange Lebensdauer machen SDI FAaSt 350 zu einem der besten heute verfügbaren Masken- und Wafer-Inspektionssysteme.
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