Gebraucht SEMILAB / SDI PV-2000A #9389454 zu verkaufen

SEMILAB/SDI PV-2000A ist eine computergesteuerte automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die den fortschrittlichen Anforderungen der kritischen Photolithographie-Inspektion gerecht wird. SDI PV-2000A Plattform führt sowohl optische Inspektion als auch elektrische Tests durch. Es ist ein Hochdurchsatzsystem, das gleichzeitig bis zu 2000 Wafer oder Masken pro Stunde prüfen und testen kann. Die Maschine bietet eine eingehende Inspektion von Photomasken- und Waferfunktionen, wie Kontaktlöcher, Linienbreiten, Überlagerungsgenauigkeit und Ätzprofilfehler. SEMILAB PV-2000A ist mit einer hochauflösenden 6 „x6“ Laserprojektionseinheit, einer hochgenauen Bildverarbeitungsmaschine und fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen ausgestattet. Das Tool führt CEMI (Contrast Estimation Mode Interferometry) für eine Laser-Interferenz-Wafer-Inspektion aus, basierend auf dem Lichtfeldintensitätsprofil der Interferenzstreifen. Die Anlage erzeugt ein Interferenzmuster durch die Kombination von Licht und Strahlungswellen einer antikohärenten Lichtquelle (Streulicht von zwei Laserstrahlen) und vergleicht das Muster mit voreingestellten Parametern. Wenn ein Fehler festgestellt wird, ermöglicht die Genauigkeit der mit dem integrierten Pixelsensor durchgeführten Messungen eine Sub-Mikron-Auswertung. Die fortgeschrittenen optischen Punktdetektionsverfahren von PV-2000A sind in der Lage, auch kleinste Oberflächendefekte zu erkennen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine automatisierte Mustererkennung und intelligente Suchalgorithmen, die eine schnelle Suche, Erkennung und Charakterisierung der Fehler ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Modell über ein automatisches Fokusmodul, das eine zuverlässige Erkennung von Kontaktlöchern auch bis zu 1 Mikron Genauigkeit gewährleistet. Das Gerät verfügt auch über ein integriertes automatisiertes elektrisches Testsystem, das verschiedene Tests wie Widerstand, Kapazität und Durchbruchspannung durchführt. Die automatisierte elektrische Prüfeinheit verwendet Druckkontaktsonden und dedizierte Prüfgurte, um außergewöhnlich schnelle, hochgenaue Prüfungen durchzuführen. SEMILAB/SDI PV-2000A ist eine vollautomatische Maschine, die den Inspektionsprozess vereinfacht und den Durchsatz bei minimalem manuellen Eingriff deutlich erhöht. Das Standalone-Werkzeug ist voll kompatibel mit vielen Arten von Wafer-Fertigungsanlagen, wie Resistspinner, Plasmaätzer und Spritzguss.