Gebraucht SEMILAB / SDI RT-100 #9259517 zu verkaufen
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SEMILAB/SDI RT-100 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage aus der Halbleiterinspektionsproduktlinie von SDI, einem Marktführer für automatisierte Halbleiterausrüstung und -dienstleistungen. Dieses System wurde entwickelt, um eine schnelle und genaue Oberflächeninspektion von Wafern und Masken zu ermöglichen. SDI RT-100 zeigt einen starken CCD (ladungsgekoppelter Halbleiterbaustein) Kamera, die mit einer stabilen, schnelllaufenden Datenerfassungseinheit und einer Farbenbildarbeitsmaschine mit einer dynamischen Reihe von bis zu 16 Bit verbunden ist. Seine CCD-Bildgebungstechnologie kann in das Grundmaterial der Wafer- und Maskenoberflächen integrierte Defekte präzise erkennen und untersuchen. Jede Zelle innerhalb der CCD ist dicht verpackt, was eine schnelle Bildaufnahme, -übertragung und -verarbeitung ermöglicht. Mit der integrierten Software stehen zwei verschiedene Arten von Inspektionen zur Verfügung: Hellfeld und Dunkelfeld. Brightfield Inspektion wird verwendet, um Oberflächenfehler zu erkennen, wie Partikel, Kratzer und Mikrorisse, und Dunkelfeldinspektion wird für Kanten- und Linieninspektionen verwendet, in der Regel für Masken verwendet. Die integrierte Software ermöglicht es Benutzern, spezifische Inspektionsparameter, wie die Prüfgröße und Genauigkeit, an die Bedürfnisse der Anwendung anzupassen und anzupassen. SEMILAB RT-100 zeigt auch das automatische Oblatenberühren mit einem Hochleistungsoblatenaustauschmechanismus, der zuverlässige und schnelle Oblatenregistrierung sichert. Der Frontladekassettenlader ermöglicht den Waferaustausch und die Nachprüfung ohne Eingriff des Bedieners. Eine intuitive, softwaregesteuerte Oberfläche bedeutet, dass das Tool einfach zu bedienen ist und minimales Training erfordert. Neben der Wafer- und Maskeninspektion unterstützt RT-100 auch eine Vielzahl weiterer Inspektionsaufgaben wie Filmbelastung und Tester-Burn-in, Nähen von SEM-Bildern, 3-dimensionale topographische Analyse und Messmaße von Merkmalen bis 10 µm. Insgesamt ist SEMILAB/SDI RT-100 eine zuverlässige und genaue Masken- und Waferinspektionsanlage, die einfach zu bedienen ist und eine breite Palette von Inspektionsaufgaben mit hervorragenden Ergebnissen bewältigen kann. Es ist eine ideale Lösung für die automatisierte Halbleiterproduktion und bietet höchste Präzision und schnelle Wende.
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