Gebraucht SEMILAB SPVCMS4000 #9391959 zu verkaufen
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Metrology system.
SEMILAB SPVCMS4000 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die anspruchsvollsten Prozess- und Inspektionsanforderungen ausgelegt ist. Es bietet eine einzigartige Kombination von Technologien, einschließlich Oberflächen- und Topographie-Inspektion, Merkmalserkennung und Defektivitätsanalyse. SPVCMS4000 wird durch eine intuitive und leistungsstarke Software angetrieben, die es dem Anwender ermöglicht, schnell und präzise zuverlässige Inspektionen an einer Vielzahl von Prozessen wie FEOL, BEOL, DRAM und 3D durchzuführen. Das System ist in der Lage, die Auflösung von bis zu 20 nm in seinen Oberflächen- und Topographie-Inspektionsmodi zu liefern, und verfügt über einen ultraempfindlichen lichtreflektierenden CCD-Sensor, der eine überlegene Genauigkeit bei der Prüfung von Beispielfunktionen bietet. Darüber hinaus kann das Gerät kleine Defekte mit einem ausgezeichneten Signal-Rausch-Verhältnis erkennen. Die Merkmalserkennung wird durch die fortschrittlichen Tracking-Algorithmen ermöglicht, die die Position von Merkmalen auf dem Probenwafer überwachen, auch bei Umgebungsgeräuschen, wodurch schnellere und präzisere Inspektionen ermöglicht werden. SEMILAB SPVCMS4000 wird von einem 10,4 "Farb-Touchscreen-Display betrieben, das den Benutzern die volle Kontrolle über die Einstellungen der Maschine gibt. Es wurde entwickelt, um den Durchsatz mit seinem Dual-Arm-Betrieb zu optimieren, der die Entspannung minimiert und es dem Bediener ermöglicht, mehrere Wafer schnell nacheinander zu überprüfen. Das Tool verfügt auch über ein Wafer-automatisches Laden-Asset, das es ermöglicht, Wafer schnell und einfach zu laden und zu entladen. Darüber hinaus ist SPVCMS4000 mit einer hochauflösenden Kamera ausgestattet, die Defekte mit einer Effizienz von bis zu 4K Auflösung erfassen kann. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, komplexe Muster und Strukturen mit beispielloser Präzision zu überprüfen. Darüber hinaus umfasst das Modell leistungsstarke Bildverarbeitungs- und Analysetechniken, die Fehler erkennen, lokalisieren und genau identifizieren können. Das Gerät bietet auch Echtzeit-Feedback auf Daten, die Fehlergröße, Partikeldichte, Düsengröße und andere wichtige Informationen umfassen. Dieses umfangreiche Feature-Set macht SEMILAB SPVCMS4000 zu einer idealen Wahl für anspruchsvollste Masken- und Wafer-Inspektionsanwendungen.
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