Gebraucht SEMILAB WT-2000 #9299523 zu verkaufen

SEMILAB WT-2000 ist eine hochpräzise Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die zur automatischen, berührungslosen und hochauflösenden Messung von Topographien flacher Oberflächen entwickelt wurde. Es basiert auf der akustischen bildgebenden Vibrometrie (AIV) Messtechnik, die die Schwingungen und Reaktionen von Objekten auf einen Schallimpuls misst. Das System ist in der Lage, Abmessungen mit einer Auflösung unter 0,5 nm zu messen und ist in der Lage, vollflächige berührungslose Messungen bei hoher Geschwindigkeit zu erreichen. Die SEMILAB WT2000 Einheit umfasst zwei Hauptkomponenten: einen Messkopf für die akustische Bildgebungsvibrometrie (AIV) und eine hochauflösende Bildgebungsmaschine. Der AIV-Messkopf ist dafür verantwortlich, akustische Impulse zu erzeugen, die reflektierten Signale zu empfangen und zu digitalen Signalen zu verarbeiten. Das Werkzeug ist in der Lage, hochauflösende Topographiedaten mit einer axialen Auflösung von besser als 0,5 nm im Messbereich bis zu 2 µm zu erfassen. Die zeitliche Auflösung des AIV-Messkopfes liegt im Bereich von 125 bis 500 ns. Die bildgebende Komponente besteht aus einem 522 nm sichtbaren Laser, der von einer Glasfaserkopplung des AIV-Messkopfes angetrieben wird. Dieses laserbeleuchtete Bild wird durch ein hochauflösendes digitales Abbildungsmodell vergrößert und von einer Digitalkamera gesammelt. Das hochauflösende Bildgebungsgerät basiert auf einer CCD-Kamera mit einer Pixelgröße von 3,45 μ m und bietet vergrößerte Bilder von bis zu 250 Mal. Das Steuerungssystem WT 2000 ist für die Steuerung der Öffnungen des AIV-Messkopfes zur Optimierung des Messbereichs, Synchronisation des Laserstrahl-Triggers für die Abbildungseinheit und mehr zuständig. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht einen einfachen Zugriff auf die Maschinenfunktionen für einen effizienten und zuverlässigen Betrieb und umfasst mehrere Standardfunktionen wie ein automatisches Maskenausrichtverfahren, ein benutzerfreundliches Navigationsmenü und sogar eine Softwarefunktion zur Speicherung von Messparametern. Neben dem Basiswerkzeug bietet SEMILAB WT 2000 eine Reihe von Zubehörteilen für die Wafer- und Maskeninspektion. Dazu gehören spezielle Rasterquarzsonden zur Oberflächenrauhigkeit und Topographie-Profilierung, ein Lademodul zur Aufladung der Probe zur Nassspannungsanalyse, eine Mikroskopkamera zur Visualisierung kleiner Objekte, ein optisches Mikroskop zur Betrachtung kleiner Strukturen und ein Wirbelstromsensor zur Messung elektrischer Leitfähigkeit. Abschließend ist WT2000 eine leistungsstarke, hochpräzise Masken- und Wafer-Inspektion, die eine hervorragende Wiederholbarkeit und Genauigkeit bietet. Sein hybrider Ansatz kombiniert akustische Bildgebungsvibrometrie und ein hochauflösendes Bildgebungsmodell ermöglicht eine schnelle und einfache Messung von Topographie, Abmessungen, Rauheit und elektrischen Eigenschaften flacher Oberflächen mit hoher Auflösung und Geschwindigkeit.