Gebraucht SONY IRG-12 #293665056 zu verkaufen

SONY IRG-12
ID: 293665056
Defect inspection system.
SONY IRG-12 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur Herstellung integrierter Schaltungen. Es wurde entwickelt, um eine automatisierte, genaue und detaillierte Inspektion von hochauflösenden Mustermasken und Wafern zur Verfügung zu stellen, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen verwendet werden. Das System verbindet mehrere fortgeschrittene Technologien wie Hovergrößerungsabtastung des Elektronmikroskops (SEM), optische Defektinspektion (ODI), automatische Defektklassifikation (ADC) und Submikronbeschlussbildaufbereitung. IRG-12 Einheit verwendet ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) mit einer optischen Abtastlinse mit hoher Vergrößerung, um Bilder von Masken und Wafern mit bis zu 1.000facher Vergrößerung zu erhalten. Die Maschine verwendet eine breite Palette von Abbildungsmodi wie Sekundärelektronenbildgebung (SEI), Sekundärelektronenemissionsmikroskopie (SEEMS), Bildgebung mit Röntgenstrahlen und Rastertunnelmikroskopie (STM), um eine höhere Auflösung zu ermöglichen und Oberflächendefekte zu erkennen. Neben der SEM-Bildgebung umfasst das SONY IRG-12 Tool auch die optische Fehlerinspektion (ODI) zur Erkennung defekter Stellen und Abmessungen von Masken und Wafern. Das Asset verwendet fortschrittliche Algorithmen und automatisierte Bildverarbeitungstechniken, um Fehler in Feinlinienmustern zu erkennen und Präzisionsformen und -winkel für Defekte bis hin zu Sub-Mikron-Ebenen zu erkennen. Um die Genauigkeit und Geschwindigkeit der Inspektion weiter zu verbessern, umfasst IRG-12 Modell die automatische Fehlerklassifizierung (ADC) zur Erkennung und Klassifizierung von Fehlern. Mit einem Deep-Learning-basierten Defekt-Klassifizierer ist das Gerät in der Lage, von verschiedenen physikalischen Fehlertypen zu unterscheiden und detaillierte metrische Ergebnisse der Partitionsprüfung zu liefern. SONY IRG-12 System enthält auch Submikron-Auflösung Bildgebung für hochauflösende Überprüfung von Masken und Wafern. Seine hochauflösenden Elektronendetektoren ermöglichen die Abbildung subtiler Oberflächenstruktur auf fortgeschrittenem Detailniveau. Die Einheit bietet auch Präzisionsbildverarbeitungs- und Musteranpassungswerkzeuge, um subtile Muster auf großer Fläche genau zu identifizieren. Um konsistente und genaue Inspektionsergebnisse zu gewährleisten, ist IRG-12 Maschine mit fortschrittlichen Qualitätskontrollwerkzeugen ausgestattet. Das Werkzeug führt automatisch eine gemäßigte Überwachung durch, um stabile Abbildungsbedingungen zu gewährleisten und bietet regelmäßige vorbeugende Wartungsarbeiten für einen wartungsfreien Betrieb. Abschließend ist SONY IRG-12 eine hochentwickelte Inspektionsanlage, die sich ideal für die Produktion integrierter Schaltungen eignet. Seine fortschrittlichen Funktionen und automatisierten Systeme liefern zuverlässige und genaue Ergebnisse für Masken und Wafer in ultrahoher Auflösung.
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