Gebraucht TAYLOR HOBSON TalySurf CCI 9150 #9168261 zu verkaufen
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ID: 9168261
Non-contact 3D profiler
Vertical resolution: 0.1Å (0.01 nm)
Measurement noise: 0.2Å (0.02 nm)
Data points as standard: >1,000,000
Single measurement mode of operation
RMS Repeatability: 0.03Å (0.003 nm)
Measurement technique:
Coherence correlation Interferometry
Vertical range (Z): 100μm
Vertical resolution: 0.01nm [0.1Å]
Noise floor (Z): 0.02nm [0.2Å] 1
Repeatability surface RMS (Z): 0.003nm [0.03Å]2
Measurement area (X, Y):
0.25mm - 7.0mm (square area)
1024 x 1024 standard measurement points
Optical resolution (X, Y): 0.4 - 0.6μm
Step height repeatability: 0.05nm (25 nm step) / 0.1%
Linearity (Z): 0.03% of measured value
Surface reflectivity: 0.3% - 100%
Measurement time: 5-20 seconds.
TAYLOR HOBSON TalySurf CCI 9150 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterindustrie, die die neueste, berührungslose optische Profilometrie-Technologie verwendet, um schnelle und genaue Messungen und Analysen von Halbleiterscheiben zu ermöglichen. Dieses System ist mit einer patentierten dynamischen Fokussiereinheit ausgestattet, die einen Messbereich von 0,5 bis 500 mm ermöglicht und somit ideal für verschiedene Wafergrößen geeignet ist. Der CCI 9150 verfügt über eine geringe Rauschfähigkeit von 1,5 nm und eine hohe Auflösung von 0,05 um, die es dem Benutzer ermöglicht, genaue Ergebnisse zu erhalten. Diese Maschine verfügt auch über eine automatisierte Datenerfassung, die Daten von mehreren Wafern in einem Durchgang sammeln kann, wodurch die für die Inspektion jedes Wafers erforderliche Zeit reduziert wird. Mit Hilfe fortschrittlicher Bildgebungstechniken kann das Tool die Flachheit des Master-Wafers, Schritthöhen, Erträge und andere Variablen analysieren. Dies hilft, die Genauigkeit der Wafer zu verbessern und liefert zuverlässige wiederholbare Messungen. Der Talysuf CCI 9150 wurde entwickelt, um die Produktionskosten durch effiziente Messung und Analyse von Wafern zu senken. Dies geschieht, indem Daten bereitgestellt werden, die drahtlos mit Produktionsteams geteilt oder remote zur Überprüfung zugegriffen werden können. Der automatische Funktionsvergleich hilft, Unterschiede zwischen dem Produkt nach der Produktion zu identifizieren, was wertvolle Zeit spart, indem Fehler vor dem Versand erkannt werden. Das Asset ist für andere Operationen wie manuelle Messungen, mehrschichtige Wafer-Mapping und Datenanalyse konzipiert. Durch die Verwendung fortschrittlicher Softwarefunktionen kann der CCI 9150 Wafer weiter mit besserer Genauigkeit und besseren Ergebnissen als herkömmliche Methoden analysieren. Insgesamt ist TalySurf CCI 9150 ein ideales Werkzeug zur Herstellung und Analyse von Wafern. Durch den Einsatz der modernsten optischen Profilometrie-Technologie kann der CCI 9150 zuverlässige und genaue Messungen und Analyse von Wafern liefern. Die automatisierten Funktionen und Datenerfassungsfunktionen des Modells senken die Produktionskosten und bieten eine zuverlässige und wiederholbare Möglichkeit, Wafer zu messen und zu überwachen.
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