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THERMAL WAVE IMAGING EchoTherm
ID: 9275494
Inspection system.
THERMISCHE WELLENBILDGEBUNG (TWI) THERMISCHE WELLENBILDGEBUNG EchoTherm ist eine fortschrittliche, vollautomatische Masken- und Waferinspektionsanlage, die Infrarot-Wärmebildtechnologie verwendet, um Fehler auf Halbleiterbauelementen genau zu analysieren und zu identifizieren. Mit einer hohen Bildfrequenz-Scanzeit von weniger als einer Sekunde bietet EchoTherm eine umfassende Fehlererkennung ohne Qualitätseinbußen. Seine fortschrittliche Bildgebungstechnologie verfügt über eine omnidirektionale Infrarot-Detektoranordnung und eine Multispektralkamera, die eine präzise Oberflächentemperaturmessung und die schnelle Erkennung von Defekten in Halbleiterschaltungsmustern ermöglicht. THERMAL WAVE IMAGING EchoTherm ist für den Einsatz in Wafer-Herstellungsprozessen konzipiert und kann schnell und präzise Inspektionsergebnisse erzielen. Seine einzigartige THERMAL WAVE IMAGING Technologie ermöglicht es ihm, Temperaturunterschiede in Sub-Mikron-Durchmesser Eigenschaften auf dem Wafer zu identifizieren, die dann mit hohen Vergrößerungsmikroskopen analysiert werden können, um Fehler zu identifizieren. Das System kann Fehler bis zu 10 Mikrometer erkennen und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm scannen. Um die Zuverlässigkeit seiner Ergebnisse zu gewährleisten, verwendet EchoTherm ein ausgeklügeltes Softwarepaket, das Fehler automatisch erkennen und melden kann. Es bietet auch eine Vielzahl von fortschrittlichen Tools, die detaillierte Bilder von Fehlern bereitstellen, die Größe und Schwere von Fehlern genau abschätzen und automatisierte Klassifizierungs- und Qualifizierungsfunktionen anbieten können. Durch die Bereitstellung von hochauflösenden Wärmebild- und Fehleranalysen kann THERMAL WAVE IMAGING EchoTherm kleine Defekte präzise und schnell erkennen und schnellere und zuverlässigere Inspektionsprozesse ermöglichen. Um den Betrieb des Geräts zu optimieren, kann EchoTherm mit einer Vielzahl von Optionen wie einer integrierten Zentriermaschine angepasst werden, um eine präzise Scan-Ausrichtung und ein Wafer-Spannfutter für einen nahtlosen Gerätezugriff zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über eine benutzerfreundliche Umgebungsschnittstelle und eine Auswahl an Schnittstellen für die Kommunikation mit externen Systemen. Insgesamt ist die THERMAL WAVE IMAGING EchoTherm eine ideale Lösung für die schnelle, genaue und zuverlässige Erkennung von Defekten auf Halbleiterbauelementen. Die THERMAL WAVE IMAGING-Technologie bietet eine hochauflösende Sicht auf Fehler, die eine schnelle und genaue Analyse ermöglicht, während die ausgeklügelten Software-Tools eine automatisierte Klassifizierung und Entscheidungsfindung ermöglichen. Durch die Verwendung von EchoTherm können Kunden geringere Ablehnungsraten und verbesserte Erträge erleben, was effizientere und zuverlässigere Produktionsprozesse ermöglicht.
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