Gebraucht TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 #293587749 zu verkaufen
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ID: 293587749
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Overlay measurement system, 6"
1998 vintage.
TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 (T.A.M. MAC-92) ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um die strengen Messungen und Inspektionsanforderungen für die Herstellung von Halbleitern zu erfüllen. Der T.A.M. FLUGZEUGSMAß-MAC von TOKIO 92 ist ein schnelllaufender, hohe Genauigkeit, nichtkontaktieren Sie Scan-Mikroskop, das dazu fähig ist, Entschlossenheit unten gegenüber dem Mikron-Skalaniveau bereitzustellen. Es verwendet ein Lichtfeld-Bildgebungssystem, das Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie (FESEM) und konfokale Lasermikroskopie kombiniert und eine schnelle, genaue Messung und Inspektion von Musterproben ermöglicht. Das Gerät kann mit mehreren Optionen konfiguriert werden, um seine Leistung und Genauigkeit zu verbessern, einschließlich der Verwendung eines hochempfindlichen 4-Kanal-Detektors mit variabler Scangröße und Scangeschwindigkeit. Der Detektor beinhaltet auch eine spezielle Hochempfindlichkeitsfunktion, die eine genaue Messung kleinteiliger Muster gewährleistet. Zusätzlich schließt die Maschine Zwei-Kanäle-Laser interferometer Mikroversetzungsstadien ein, die Hogenauigkeitsstufenbewegung mit der minimalen Versetzung ermöglichen. Die T.A.M. MAC-92 bietet erweiterte Musterinspektionsmöglichkeiten für defekte Miniaturmaskendefekte oder Wafer-Halbleiterschichten. Es steht eine Musterinspektoroption zur Verfügung, die die Definition von bis zu vier benutzerdefinierten Fehlertypen ermöglicht. Zusätzlich kann das Werkzeug Muster aus einer Vielzahl von Maskenschichten mittels optischer oder Elektronenstrahl-Bildgebung analysieren. Das Asset bietet auch erweiterte Masken- und Wafer-Fehlererkennungsfunktionen für eine Vielzahl von oberflächlichen und Ultra-Low-K-Schichten. Das Modell ist benutzerfreundlich und einfach zu bedienen. Es verfügt über ein Touchscreen-Panel mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI), die alle wichtigen Parameter und Einstellungen anzeigt und eine effiziente Bedienung und Wartung gewährleistet. Zur Gewährleistung der Systemgenauigkeit wird ein automatisierter Kalibrierungsprozess in die Ausrüstung eingebaut. Die T.A.M. TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 ist die perfekte Wahl für hochpräzise Masken- und Waferinspektion. Es ist in der Lage, genaue, wiederholbare und schnelle Messungen im Mikrometer-Maßstab und bietet die zuverlässigsten und zuverlässigsten Mittel zur Gewährleistung von Präzision und Qualität in der Halbleiterherstellung.
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