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TOPCON Vi-1202 ist eine führende integrierte Masken- und Waferinspektionsanlage. Es bietet unübertroffene Leistung, erweiterte Funktionen und höchste Auflösung in einem einzigen, kompakten Modul. Mit seiner einzigartigen Fähigkeit, Masken und Wafer gleichzeitig zu inspizieren, ist Vi-1202 die ideale Wahl für die anspruchsvollsten Anwendungsanforderungen. TOPCON Vi-1202 bietet dank seiner leistungsstarken und flexiblen Optik hochmoderne Performance. Seine einzigartige kreisförmige LED-Beleuchtung sorgt für eine genaue optische Inspektionsauflösung von bis zu 1µm. Darüber hinaus verfügt das System über einen Mehrstrahllaser und kamerabasierte Objekterkennungsfähigkeit. Diese modernste Technologie bietet eine verbesserte Inspektionsgenauigkeit und eliminiert viele der visuellen Artefakte, die in herkömmlichen Inspektionsprozessen vorkommen. Vi-1202 bietet eine Reihe präziser Ausrichtungs- und Überwachungsfunktionen. Die dreiachsigen motorisierten Translationsstufen und die zweiachsige Rotationsstufe ermöglichen eine präzise Positionierung und Ausrichtung der Proben. Die hochauflösenden Bildaufnahme- und Analyseoptionen bieten detaillierte visuelle Informationen für eine schnelle Prozessoptimierung. Das Gerät enthält auch robuste Algorithmen, um den geringsten Fehler mit sehr hoher Erkennungsempfindlichkeit zu erkennen. TOPCON Vi-1202 erleichtert die Produktivität durch seine benutzerfreundliche Oberfläche. Dank der intuitiven Benutzeroberfläche können Anwender mit wenigen Mausklicks schnell auf alle Maschineneinstellungen und Funktionen zugreifen. Diese Schnittstelle bietet auch eine umfassende, Live-Vorschau der Inspektionsergebnisse. Vi-1202 ist die ideale Lösung für anspruchsvollste und anspruchsvollste Anforderungen an die Masken- und Waferinspektion. Seine fortschrittliche Leistung und unübertroffene Genauigkeit bieten Anwendern die branchenweit beste Lösung, um alle ihre hochpräzisen Prüfanforderungen zu erfüllen.
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