Gebraucht TOPCON WM 2500 #293616515 zu verkaufen
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ID: 293616515
Weinlese: 2000
Wafer particle inspection system
Size: Φ8
2000 vintage.
TOPCON WM 2500 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Erkennung und Identifizierung mikroskopischer Defekte in Halbleiterscheiben und -masken. Das System verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und Technologien wie ein optisch lineares Array, eine erweiterte binäre Optikeinheit, eine eingebettete Messtechnik und eine fortschrittliche Fehleranalyse-Maschine, die Fehler noch kleiner als die Größe eines einzelnen Transistors erkennen und klassifizieren kann. Herzstück von WM 2500 ist das optisch lineare Array, das Tausende von Bildern aufnimmt und speichert, wobei jedes Bild aus Tausenden von Pixeln besteht und jedes Pixel bis zu 256 Graustufen darstellt. Mit diesem Tool wird ein Bild mit ultrahoher Auflösung der Oberfläche des Wafers, der Maske oder des Retikels erstellt. Es erkennt, klassifiziert und quantifiziert etwaige Fehler auf der Oberfläche. Die TOPCON WM 2500 verwendet auch eine eingebettete Messtechnik, was bedeutet, dass keine externe Messmaschine zur Erkennung und Messung der Fehlergröße erforderlich ist. Der Embedded Metrology-Betrieb ist in der Lage, Defekte von einem Mikrometer bis zu zehn Mikrometer Größe zu finden und zu messen, und kann diese Daten für die statistische Analyse sammeln. WM 2500 verwendet auch eine fortschrittliche binäre Optik, die es ermöglicht, verschiedene Arten von Defekten wie Kristallfehler, Zeilenumbrüche und klare oder transparente Partikel zu überprüfen. Das Modell kann auch großflächige Oberflächenfehler, wie Hohlräume und Partikel, untersuchen und Bilder von Objekten in verschiedenen Winkeln erfassen. Schließlich ist die Ausrüstung in der Lage, ein fortschrittliches Fehleranalysesystem einzusetzen, das Anwendern hilft, Fehler anhand einer Vielzahl von Eigenschaften wie Größe, Helligkeit, Form, Orientierung und Kantenschärfe zu identifizieren und zu klassifizieren. Diese Einheit kann Fehler noch kleiner als ein einzelner Transistor genau erkennen und identifizieren und detaillierte Informationen über ihren Standort und ihr Aussehen liefern. Mit seiner fortschrittlichen Optik, Messtechnik und Defektanalyse-Maschine ist TOPCON WM 2500 ein unschätzbares Werkzeug für Halbleiterunternehmen und kann ihnen helfen, Fehler, die die Integrität ihrer Produkte bedrohen könnten, genau zu identifizieren, zu klassifizieren und zu quantifizieren.
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