Gebraucht TOPCON WM 2500 #9266612 zu verkaufen

TOPCON WM 2500 ist eine Maske & Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um Fehler in Halbleiterscheiben und Masken genau zu erkennen und zu messen. Dieses System ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen (bis zu 8 Zoll/200mm) zu überprüfen und Fehler bis zu 0,33 Mikrometer zu messen. Die Optik verfügt über eine 4X telezentrische Linse, die ein breites 90mm Sichtfeld ohne Vergrößerungsvariation ermöglicht. Die Beleuchtungseinheit verwendet LED-Lichtquellen, die ein gleichmäßiges, homogenes Muster mit geringem Stromverbrauch und ohne Beschädigung der Wafer bieten. WM 2500 enthält einen farbigen CCD-Bildsensor und erweiterte digitale Bildverarbeitungsalgorithmen zur Erkennung und Messung von Fehlern. Die Maschine verwendet einen Hellfeld-Bildgebungsmodus mit DDM (Defect Detection Mode) und CDEM (Continuous Defect Enhancement Mode) -Funktionen. DDM verwendet Musteranpassung und Kontrastverbesserung, um verschiedene Arten von Defekten zu erkennen, wie Fehler, Partikel, Kratzer, Nadelöcher und fehlende oder fehlerhafte Masken. Es kann Defekte bis zu 0,33 Mikrometer in der Größe innerhalb des gemusterten Bereichs erkennen. CDEM scannt die Gesamtheit des Wafers und wird verwendet, um Ertragsflecken-Defekte zu erkennen, oder Defekte, die zu klein sind, um mit Hellfeld-Bildgebung visualisiert zu werden. Der Bildprozessor unterstützt zusätzlich die Wafergitter-Inspektion und Markeninspektion. TOPCON WM 2500 verfügt über ein Novastar HPI High-Speed-Muster-Inspektionswerkzeug zur Analyse einer Vielzahl von Formen und Funktionsgrößen. Dazu gehören kritische Abmessungen, Neigung und Platzierung von Strukturen bis zu einer Größe von 0,1 Mikrometern. Das Asset umfasst auch Funktionen zur automatischen Fokussierung und automatischen Zentrierung. Diese Echtzeitoptimierung ermöglicht eine genaue Inspektion und Messung auch dann, wenn die Wafer von ihren ursprünglichen Positionen verschoben werden. Darüber hinaus umfasst das Modell vollständige Datenspeicher- und Berichtsfunktionen. Bilder von geprüften Wafern können ebenso gespeichert werden wie Berichte, die in .csv und anderen Formaten generiert werden. Das Gerät ist in der Lage, über verschiedene Schnittstellen zu kommunizieren, einschließlich Ethernet, USB und serielle Ports, die einen Remote-Datenzugriff und die Möglichkeit zur Integration in ein externes computergesteuertes System ermöglichen. Darüber hinaus entspricht WM 2500 den SEMI-Standards. Insgesamt ist TOPCON WM 2500 eine zuverlässige, benutzerfreundliche Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die für eine schnelle und genaue Fehlerinspektion und -messung ausgelegt ist. Seine telezentrische Optik, fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen, Novastar HPI-Inspektionsmaschine und umfangreiche Datenspeicher- und Berichtsfunktionen machen es ideal für Halbleiterfertigungs- und Testanwendungen.