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TOPCON WM-7S ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Das System verfügt über eine fortschrittliche, hochauflösende Bildaufnahmeeinheit, die die Masken- und Waferbilder erfasst und anschließend eine detaillierte Analyse zur Erkennung von Fehlern durchführt, sodass Produktionsingenieure mögliche Probleme identifizieren können. Die Maschine enthält einfach zu bedienende Software mit einer einfachen und einfachen Touch-Schnittstelle, die eine effiziente Bedienung ermöglicht. Es ist optimiert, sowohl Masken als auch Wafer gleichzeitig auf Fehler zu überprüfen, um einen schnellen und genauen Prozess zu gewährleisten. Das Kamera-Tool unterstützt Auflösungen bis zu 4K, ermöglicht eine detaillierte visuelle Inspektion und ermöglicht es Ingenieuren, Fehler schnell zu isolieren und Probleme genau zu diagnostizieren. Das Asset umfasst auch leistungsstarke Bildverarbeitungsfunktionen, die eine Vielzahl von Erkennungsalgorithmen für Masken und Wafer enthalten. Auf diese Weise kann das Modell Fehler, die sonst zu klein wären, mit bloßem Auge erkennen. TOPCON WM 7S integriert sich nahtlos in bestehende Produktionsabläufe und bietet eine automatisierte Fehleranalyse mit erhöhter Geschwindigkeit und Genauigkeit. WM-7S verfügt auch über eine zuverlässige Maskenausrichtung, so dass die Überlappung verschiedener Masken im Laufe der Zeit, um sicherzustellen, dass der gleiche Fehler nicht verpasst wird. Seine robusten optischen Komponenten verleihen dem Gerät eine präzise Winkelgenauigkeit, die eine präzise Ausrichtung und genaue Fehlererkennung gewährleistet. WM 7S bietet Anwendern zudem die Möglichkeit, Prozessänderungen schnell auszuwerten und ihre Wirkung sowohl auf die betreffende Maske als auch auf den betreffenden Wafer effizient zu analysieren. Dadurch kann das System sicherstellen, dass der Herstellungsprozess vollständig optimiert ist und Änderungen die Produktqualität nicht beeinträchtigen. Das Gerät bietet eine umfassende Reihe von Funktionen, die Produktionsingenieuren eine effiziente, robuste und zuverlässige Inspektionsmaschine bieten. Von hochauflösender Bildverarbeitung über leistungsstarke Bildverarbeitung bis hin zur genauen Fehlererkennung und flexiblen Integration ist TOPCON WM-7S eine Komplettlösung für die effiziente und zuverlässige Masken- und Waferinspektion.
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