Gebraucht TORAY Inspectra-1000EX-F #9353810 zu verkaufen

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ID: 9353810
Wafergröße: 5"
Weinlese: 2006
Wafer inspection system, 5" 2006 vintage.
TORAY Inspectra-1000EX-F ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur Erkennung von Defekten in Photomasken, Retikeln, Lithographieausrichtungszielen und Wafern. Dieses System bietet eine automatisierte, hochpräzise optische Inspektion mit Hochgeschwindigkeits-Scanning und fortschrittlichen Algorithmen, um eine Vielzahl von Fehlern zu erkennen. Das Gerät ist mit einer hochauflösenden CCD-Kamera zur Bilderfassung und einem Laserspot zur Positionierung sowie einer Lichtquelle und Dunkelfeldbeleuchtung zur verbesserten Inspektion ausgestattet. Inspectra-1000EX-F ist in der Lage, eine breite Palette von kritischen Defekten wie Partikel, Pinholes, Hohlräume und Linien zu erkennen. Es verwendet auch fortschrittliche Algorithmen wie erweiterte Mustererkennungsalgorithmen, um kritische Fehler zu identifizieren und zu klassifizieren. Die Maschine verfügt über eine Bildanalyseeinheit, die eine Echtzeit-Bildanalyse und eine statistische Analyse von Fehlerdaten durchführt. Darüber hinaus ermöglicht das Werkzeug eine genaue und wiederholbare Messung von Sub-Mikron-Merkmalen wie Linienbreiten, Stempelabstand und CD-Werte. TORAY Inspectra-1000EX-F verfügt auch über eine Fehlerklassifizierungsfunktion, die alle erkannten Fehler in vier Kategorien klassifiziert: kritisch, Dur, Moll und Rauschen. Die Klassifizierung von Fehlern kann nach benutzerdefinierten Kriterien wie Fehlergröße, Form oder Ort erfolgen. Darüber hinaus ermöglicht das Asset einen genauen Vergleich der Messwerte mit benutzerdefinierten Schwellenwerten zur weiteren Klassifizierung von Fehlern. Das Modell ist mit mehreren Optionen verfügbar, darunter ein automatisiertes Programm zur gleichzeitigen Überprüfung beider Seiten eines Wafers und eine interaktive grafische Benutzeroberfläche (GUI) für eine einfache Bedienung der Geräte. Inspectra-1000EX-F umfasst auch mehrere Kommunikationsprotokolle und eine Reihe von Signalintegrationsanschlüssen zur Schnittstelle mit anderen Geräten. Schließlich wird das System durch ein einfach zu bedienendes Bedienertrainingsprogramm zur effizienten Bedienung und Schulung neuer Anwender ergänzt. Abschließend ist TORAY Inspectra-1000EX-F eine hochentwickelte Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die eine zuverlässige und genaue Erkennung einer Vielzahl von Defekten ermöglicht. Dieses Tool ist mit mehreren Funktionen, wie automatisierte zweiseitige Waferinspektion und Defektklassifizierung, die sicherstellen, dass es genaue und effiziente Inspektion Photomasken, Retikel, Lithographie-Ziele und Wafer.
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