Gebraucht TORAY Inspectra-3000 FR 200 #9157738 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9157738
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2014
Surface monitoring system, 8"
2014 vintage.
TORAY Inspectra-3000 FR 200 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Es wurde entwickelt, um eine detaillierte Analyse von Masken, Wafern und anderen Substratmaterialien zur zerstörungsfreien Analyse von Defekten und Prozesseigenschaften bereitzustellen. Das System ist in der Lage, Partikel-, Linien-, Flächen- und Dickendefekte auf verschiedenen Materialien einschließlich Photomasken zu erkennen. Es unterstützt eine ganze Reihe von Defektarten, einschließlich Liniensteigungen, nachteilige Entwicklungsmuster, Partikel und Verunreinigungen und Filmdefekte. Darüber hinaus hat das Gerät die Fähigkeit, mechanische Fehler, Oberflächenfehler und offene Shorts mit hoher Auflösung zu erkennen. Inspectra-3000 FR 200 verfügt über eine hochempfindliche Scanmaschine mit einer Auflösung von 1,2 x 0,9 Mikron und einem Sichtfeld von 0,7 x 0,5mm. Es verfügt über eine Vielzahl von bildgebenden Optionen, um die Inspektionsanforderungen zu erfüllen. Die dreidimensionale Bildkomposition ermöglicht es Benutzern, Bilder mit größeren Tiefen und räumlicher Auflösung zu erfassen. Dadurch ist es in der Lage, sehr kleine Defekte zu erkennen und subtile Unterschiede in hellen, dunklen und grauen Bereichen der Probe zu erkennen. Das Tool verfügt über eine automatisierte Ausrichtungs-, Fokussierungs- und Kantenerkennungsfunktion, die die Genauigkeit verbessert und die Rüstzeit reduziert. Das Asset verfügt zudem über eine vereinfachte Software- und Hardwarearchitektur, die eine einfache Bedienung und Wartung ermöglicht. Die Software ermöglicht auch das einfache Laden und Analysieren von Proben sowie die Datenanalyse und -berichterstattung. Darüber hinaus unterstützt das Modell verschiedene Abbildungsmodi und Analysewerkzeuge wie Dunkelfeld-Bildgebung, optisches Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Fluoreszenz und Mustererkennung. Das Gerät ist mit einem automatisierten Bilderfassungs- und Analysealgorithmus ausgestattet, der Fehler in Wafern oder Photomasken automatisch analysiert. Dies beschleunigt den Prozess und macht das System zuverlässiger. Abschließend ist TORAY Inspectra-3000 FR 200 ein leistungsfähiges Werkzeug für eine effiziente und genaue Werkstoffprüfung. Seine automatisierten Funktionen ermöglichen eine genaue Analyse und Erkennung von Defekten und Prozesseigenschaften und seine hochauflösenden bildgebenden Funktionen ermöglichen den Anwendern ein detailliertes Verständnis der Eigenschaften ihrer Proben.
Es liegen noch keine Bewertungen vor