Gebraucht VITRONICS SOLTEC 104873 #9175105 zu verkaufen
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VITRONICS SOLTEC 104873 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionseinrichtung, die eine UV-A LED (Light Emitting Diode) -Lichtquelle und eine proprietäre Linien- und Kantenabtastmethode verwendet, um Fehler auf einem IC (Integrated Circuit) Wafer zu erkennen. Das System verwendet eine mehrwinklige, diffuse UV-A LED-Beleuchtung, die von 85 µm bis 1600 µm einstellbar ist, um IC-Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm (6 Zoll) zu überprüfen. Die Einheit umfasst eine berührungslose Laserinterferometrieeinheit, die es dem Gerät ermöglicht, kritische Abmessungen zu messen, indem eine Laserlinie auf den IC projiziert und Ablenkdaten gesammelt werden. Dadurch können 104873 Fehler sowohl auf als auch unter der bedruckten Oberfläche des IC-Wafers erkannt werden. Die Maschine wurde entwickelt, um mehrere Maskenstufen und Funktionen zu überprüfen, einschließlich optischer Ausrichtungsmerkmale für IC-Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm. Es ist mit der präzisen Motion & Stage Tool-Technologie ausgestattet, die vorkalibrierte Rückkopplungssteuerung mit Linearmotoren und Servoregelungstechnologie kombiniert, um verringerte Steuerungsreaktionsbereiche, verbesserte Genauigkeit und bessere Wiederholbarkeit sicherzustellen. VITRONICS SOLTEC 104873 ist ein zuverlässiges Asset mit hoher Geschwindigkeit und Qualitätsleistung, mit der Fähigkeit, ICs bei Geschwindigkeiten von bis zu 2.500 Wafern pro Stunde zu überprüfen. Das Modell enthält auch eine leistungsstarke und benutzerfreundliche EH2 grafische Benutzeroberfläche, die es Anwendern ermöglicht, die Ausrüstung einfach einzurichten, um umfassende Tests durchzuführen und maximale Betriebsarbeit zu erzielen. Darüber hinaus verfügt das System über eine erweiterte MicroVision Wafer Alignment (WA) -Funktion, mit der kleine IC-Funktionen erkannt, gemessen und analysiert werden können. Das Gerät wurde mit fortschrittlichen Algorithmen und optischen Inspektionswerkzeugen entwickelt, um Genauigkeit und Präzision zu gewährleisten. Die fortschrittlichen Werkzeuge, die von 104873 verwendet werden, umfassen SEM (Rasterelektronenmikroskopie), die Linienbreiten und -muster auf den ICs mit größerer Präzision als visuelle Inspektion erkennen können. Zusätzlich werden Parameter verwendet, die auf der Scanning Optical Microscopy (SOM) basieren, wodurch die Maschine größere Bereiche mit höherer Auflösung inspizieren kann. VITRONICS SOLTEC 104873 ist auch zur Hintergrundinspektion fähig, bei der der IC-Wafer mittels eines Mustererkennungsalgorithmus gescannt wird, der Moleküle wie Staub, Verunreinigungen und Verunreinigungen aus früheren IC-Prozessen identifiziert und misst. Es kann auch Zeile/Raum und Bilderkennungsmerkmale messen, so dass es für Anwendungen wie Halbleiterschaltungsherstellung oder Inspektion geeignet ist. Zusätzlich ist das Werkzeug mit bordeigener Partikeldetektion ausgelegt, die Partikel kleiner als 0,5 Mikrometer detektieren kann. 104873 ist ein idealer Vorteil für die Inspektion von IC-Wafern, da es fortschrittliche optische Werkzeuge verwendet, um Genauigkeit und Präzision zu bieten. Darüber hinaus umfasst das Modell eine berührungslose Laserinterferometrie-Einheit und erweiterte MicroVision Wafer Aligner (WA) -Funktionen, die genaue, wiederholbare und umfassende Messungen bieten. Darüber hinaus eignet sich VITRONICS SOLTEC 104873 für die Hintergrundinspektion und die Detektion kleiner Moleküle und ist damit eine ideale Ausrüstung für die Inspektion von IC-Wafern.
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