Gebraucht WYKO / VEECO RTI 4100 #9174418 zu verkaufen
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ID: 9174418
Wafergröße: 4"
Interferometer, 4"
Operating system: Windows XP
Includes:
VEECO, 4" TF
Operating wavelength: 1064 NM.
WYKO/VEECO RTI 4100 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage in der Halbleiterindustrie. Dieses System nutzt Hochleistungsmikroskopie, um die mikroskopischen Eigenschaften von Wafern und Masken zu analysieren. Durch die Verwendung einer Kombination aus Hellfeld- und Dunkelfeldmikroskopen können die Bildverarbeitungsalgorithmen des Geräts Fehler in kleinen Funktionsgrößen mit einer Mindestgrößenauflösung von 0,5 μ m erkennen und identifizieren. Die sensiblen Bildgebungssysteme des WYKO RTI 4100 bestehen aus vier hochauflösenden Kameras. Diese Kameras dienen sowohl dem Scannen als auch der Analyse der Probe. Die beiden helleren Feldkameras haben eine Pixelgröße von 6,7 μ m und die beiden Dunkelfeldkameras eine Pixelgröße von 4,3 μ m. Dies liefert der Maschine enorme Details in den Bildern jeder Probe aufgenommen, so dass das Werkzeug schnell erkennen und identifizieren auch die kleinsten Fehler. Zusätzlich zu den vier Kameras enthält VEECO RTI 4100 eine True Color Mechanism Korrektur Asset, die verwendet wird, um verschiedene Farben und unterschiedliche Wellenlängen des Lichts zu trennen, so dass eine genaue Farbanalyse der Proben. Dies hilft, die Genauigkeit der Bildverarbeitungsalgorithmen von RTI 4100 weiter zu verbessern, die verschiedene Fehlermerkmale innerhalb einer Probe genau identifizieren können. WYKO/VEECO RTI 4100 kann auch in Kombination mit WYKO Automated Defect Inspection Model (ADIS) verwendet werden, um seine Fähigkeiten weiter zu verbessern. ADIS ermöglicht die automatische Erkennung und Klassifizierung von Fehlern, die zur Qualitätssicherung und Prozesskontrolle verwendet werden können. Auf diese Weise können die Geräte Fehler für weitere Details identifizieren und isolieren und einen detaillierten Bericht über die festgestellten Mängel zur Verbesserung des Produktionsprozesses erstellen. WYKO RTI 4100 gilt mit seiner hohen Genauigkeit und Zuverlässigkeit sowie seiner Wirtschaftlichkeit als führend in seiner Klasse. Seine hohe Empfindlichkeit ermöglicht eine schnelle Inspektion von Proben mit einem Durchsatz von 20 Wafern pro Stunde. Es wurde auch für seine Fähigkeit, genaue Ergebnisse auf alle Arten von Masken und Wafern zu liefern, und seine Fähigkeit, in einer Vielzahl von Produktionsumgebungen verwendet werden festgestellt. Insgesamt ist VEECO RTI 4100 ein leistungsfähiges und zuverlässiges Masken- und Wafer-Inspektionssystem mit unübertroffener Genauigkeit und Detailtreue. Es wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Wafer Inspektion in einer schnellen, zuverlässigen und kostengünstigen Weise zu bieten, so dass es ein wesentliches Werkzeug in der Halbleiterindustrie.
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