Gebraucht WYKO / VEECO RTI #9234521 zu verkaufen

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WYKO / VEECO RTI
Verkauft
ID: 9234521
Wafergröße: 4"
Interferometer, 4" Laser: 633 nm.
WYKO/VEECO RTI Maske und Wafer Inspection Equipment ist ein umfassender Mechanismus zur Beurteilung der Integrität von Silizium-Wafern, Masken und anderen Halbleitersubstraten. Es kombiniert eine Vielzahl von Techniken, wie optische Mikroskopie, elektrische Tests und zerstörungsfreie Bildgebung, um Proben wie dünne Membranen, neue Strukturen und Komponenten und mehr zu bewerten. Das optische Mikroskop des Systems ist in der Lage, Proben mit sehr hoher Auflösung zu beobachten, abzubilden und zu analysieren, so klein wie 1,0 Nanometer. Es kann Mikroskopbilder in verschiedenen Formaten wie SEM, CCD oder TIFF lesen. Das Mikroskop verfügt über ein erweitertes Bildverarbeitungsmodul, das es verschiedenen Funktionen wie Nähen, Superauflösung und Kontrastverbesserung ermöglicht, Funktionen und Defekte zu analysieren. Die elektrischen Prüfmöglichkeiten der WYKO RTI-Einheit bestimmen die elektrischen Eigenschaften der Substrate. Es deckt eine breite Palette von Materialien und integrierten Mikroschaltungen ab, von Basiswiderständen bis hin zu hochkomplexen Strukturen. Das Testverfahren eignet sich zur kontaktlosen, berührungslosen (mit kapazitiver Kopplung) oder berührungslosen Prüfung und kann Parameter wie Widerstand, Kapazität und Impedanz messen. Darüber hinaus verwendet die Maschine zerstörungsfreie Bildgebung, um die Topographie von Proben zu untersuchen und Merkmale wie Muster, Korngröße und Ausrichtung zu erkennen. Die bildgebende Einrichtung ist mit besseren Kontrastmodi ausgelegt, die ein breiteres Anwendungsspektrum ermöglichen. Genaue Details können mit Röntgen-, E-Strahl- und fokussierten Ionenstrahltechniken gesammelt werden. Erweiterte Softwarepakete ermöglichen die Datenverarbeitung und -analyse, die Fehlererkennung und -korrektur sowie die Kontrolle von Parametern mit benutzerdefinierten Einstellungen ermöglicht. Die aus den verschiedenen Techniken gewonnenen Daten können kombiniert und zu einer einzigen Datei zusammengefasst werden, was eine detailliertere Analyse der Substratmaterialien ermöglicht. Die gewonnenen Daten können entweder als Bilder oder als Daten dargestellt werden, was eine weitere Inspektion und Analyse ermöglicht. Dieses einfach zu bedienende Werkzeug ist benutzerfreundlich und kann helfen, die Effizienz von Forschungs- und Produktionstests zu verbessern, sei es in Forschungslabors oder in der Fertigung.
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