Gebraucht ZEISS AIMS Fab 193 Immersion #9221855 zu verkaufen
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ID: 9221855
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2005
System, 6"
Laser to be replaced
Laser gas manifold to be replaced
2005 vintage.
ZEISS AIMS Fab 193 Immersion ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Es verwendet eine 193nm Tauchlaserquelle ArF und ist in der Lage, Wafer bis zu 200mm Durchmesser mit einer maximalen Waferbelastung von 16mm zu überprüfen. Seine fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen ermöglichen eine schnelle und genaue Analyse der Geräteleistung in einer Vielzahl von Materialien und Photomaskendefekten. AIMS Fab 193 Immersion enthält mehrere Funktionen, die es auf dem Markt für Waferinspektionen einzigartig machen. Die maximale Beschleunigungsspannung von 256 kV ermöglicht eine hochgenaue Abbildung von Geräteeigenschaften in Nanometerauflösungen. Es ist auch in der Lage, dichte Linienmuster mit bis zu 64X Vergrößerung und detaillierte Muster-basierte Messtechnik zu betrachten. Darüber hinaus ermöglicht die DOF-Technologie (Depth Of Focus) die Inspektion von Wafern durch verschiedene Tiefen innerhalb derselben Schicht, was ein tieferes Verständnis der Gerätestruktur ermöglicht. Neben seinen erweiterten Bildgebungsfunktionen bietet ZEISS AIMS Fab 193 Immersion auch leistungsstarke Prozesssteuerungsfunktionen. Über seine Softwareschnittstelle kann der Benutzer die Prozessparameter des Systems wie Belichtungszeit, Fokustiefe und Beschleunigungsspannung steuern. Darüber hinaus ermöglicht der integrierte 3D-Autofokus-Algorithmus es der Maschine, sich auf verschiedene Zielschichten zu konzentrieren. Durch die Kombination dieser Autofokus-Funktion mit seinen hochmodernen Bildverarbeitungsalgorithmen lokalisiert AIMS Fab 193 Immersion Fehler und Auffälligkeiten in Produkten schnell und präzise. Schließlich ist ZEISS AIMS Fab 193 Immersion Tool unter Berücksichtigung der Benutzerfreundlichkeit entwickelt. Sein riesiger Bildschirm ermöglicht eine einfache Navigation der Benutzeroberfläche und eine größere Sichtbarkeit des Beispiels. Das Touchscreen-Bedienfeld unterstützt erweiterte Funktionen wie benutzerdefinierte Algorithmen, Musteranpassung und Echtzeit-Bildgebung für eine schnelle und effiziente Inspektion. Insgesamt bietet AIMS Fab 193 Immersion Asset eine beispiellose Bildauflösung, erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen und Benutzerfreundlichkeit. Seine Eigenschaften machen es ideal für die Inspektion von Wafern und Photomasken mit hoher Genauigkeit und bieten einen umfassenden Einblick in die Geräteleistung.
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