Gebraucht ZYGO 6024-0380-01 #293647232 zu verkaufen

ZYGO 6024-0380-01 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Inspektion und Identifizierung von Defekten im Zusammenhang mit Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es verwendet ein Dual-Lasersystem, um ein Interferenzmuster zu erzeugen, das die Abbildung einzelner, doppelter und mehrfacher Resistschichten auf dem Substrat ermöglicht. Das Interferenzmuster unterstützt die Erkennung gemeinsamer Defekte wie Hohlräume, Partikel, kurze Hosen und andere Anomalien. Das Gerät nutzt eine programmierbare Bühne, bestehend aus einem hochpräzisen Schrittmotor oder einem hochauflösenden Präzisionslinearmotor, um bis zu 160 Wafer auf einer Platte zu inspizieren. Zusätzlich kann die programmierbare Bühne für die Anwendung von projizierenden Bildern für die Masken und die Wafer angepasst werden. Die Maschine verwendet eine 66-Bit-Farb-CCD-Kamera mit 10X zu 200X Vergrößerung und einem 700-Band-Spektrograph, so dass sie verschiedene Funktionen mit hoher Genauigkeit aufnehmen kann. 6024-0380-01 ist in der Lage, in mehreren Abbildungsmodi zu arbeiten, die von konfokal über Weitwinkel bis zu Nah-/Fernfeld reichen. Es nutzt die Pulsbreitenmodulation, um höhere Scangeschwindigkeiten zu erreichen, und die motorisierte Höhenverstellung ermöglicht eine hervorragende Leistung auf gestoßenen, ausgesparten und erhöhten Oberflächen. Ein wesentliches Merkmal des Werkzeugs ist es, die Optik ohne manuellen Eingriff einstellbar zu halten. Die mit dem Asset verbundene Software ist mit Bildanalysefunktionen, Toolbox und Maskengenerierung sowie Waferinspektion ausgestattet. Die Bildanalysetools können Variationen in Formen, Partikeln und Hohlräumen sowie kurzen Hosen und Randlinien erkennen. Das Modell kann mit einer breiten Palette von Resistdicken von 20 nm bis 10 μ m arbeiten. Aufgrund seiner Zuverlässigkeit und Langlebigkeit ist ZYGO 6024-0380-01 für geringe Ausfallzeiten und einfache Kalibrierung und Wartung ausgelegt. Es verwendet austauschbare, staubdichte Filter, die verhindern, dass Staub in die Objektebene gelangt. Zusätzlich ist 6024-0380-01 für EMI, FCC und CE zertifiziert. Abschließend bietet die ZYGO 6024-0380-01 Masken- und Wafer-Inspektionsanlage eine sehr vielseitige und zuverlässige Möglichkeit, Masken und Wafer auf Nanometerebene zu inspizieren, was sie zu einer großen Auswahl für Produktionsanwendungen macht. Es verfügt über eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, die einen genauen und effizienten Inspektionsprozess ermöglichen.