Gebraucht ZYGO GPI XP #293668228 zu verkaufen
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ID: 293668228
Wafergröße: 6"
Interferometer, 6"
APRE INSTRUMENTS Hardware upgrade
Digital measurement camera
Digital electronics interface
Remote control with optics cleaned and system aligned
Monitor, 24"
PC
Operating system: Windows 10 Pro, 64bit.
ZYGO GPI XP ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die eine optimale 3D-Metrologie-Leistung über eine breite Palette von Wafern und Masken bietet. Es verwendet die duale Sondentechnologie in Kombination mit der dynamischen Wellenlängenkalibrierung, um eine Auflösung auf Submikron-Niveau über alle Wafertypen zu erreichen, und liefert berührungslose Bilder mit hoher Genauigkeit. Die automatisierte Messtechnik reduziert die Komplexität der Waferinspektion erheblich, was zu hohem Durchsatz und niedrigen Betriebskosten führt. ZYGO GPIXP-System basiert auf fortschrittlichen Optik-, Elektronik- und Mechaniktechnologien und wurde entwickelt, um Millionen von Datenpunkten auf Submikron-Ebene zu erfassen, zu verarbeiten und zu analysieren. Es kombiniert zwei integrierte Lasersonden mit einer automatisierten Fokuseinheit, die eine gleichzeitige Abtastung sowohl auf der inneren als auch auf der äußeren Oberfläche eines Wafers oder einer Maske ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die Hochgeschwindigkeits-Scan-Technologie eine schnelle, berührungslose Datenerfassung und die Fähigkeit, mehrere Strukturen in einem einzigen Scan zu messen. GPI-XP Maschine verfügt auch über erweiterte Datenverarbeitung und Rechenalgorithmen, die zuverlässig erkennen und analysieren alle Fehler oder Ungleichmäßigkeit in einem Wafer oder Maske. Es beinhaltet auch eine automatisierte Maskenausrichtung und Ausrichtungskorrektur, die eine hohe Genauigkeit der Messtechnik weiter unterstützt. Das Tool bietet auch eine intuitive Benutzeroberfläche mit Analyses Dashboard™ für einfachen Datenabruf und Kontrolle. Darüber hinaus bietet es umfassende Dokumentationsmöglichkeiten, mit denen Kunden die Ergebnisse mehrerer Scans verfolgen können. Es ist auch so konzipiert, dass es hoch konfigurierbar ist, um den spezifischen Anforderungen jedes Kunden gerecht zu werden. Neben den integrierten Funktionen verfügt GPI XP asset auch über eine fortschrittliche Messsoftware, die umfassende Messberichte erstellt. Die Software enthält auch eine Reihe von Software-Tools, die eine Anpassung ermöglichen und zur Optimierung von Inspektionsstrategien für Anwendungen wie Maß- und Profilmessungen, Wafer-Sauberkeit und Registrierung verwendet werden können. Zusammenfassend ist ZYGO GPI-XP ein fortschrittliches Masken- und Wafer-Inspektionsmodell mit fortschrittlichen Optik-, Elektronik- und Mechanik-Technologien zur Bereitstellung von Submikron-Genauigkeit. Es verfügt über 2D- und 3D-berührungslose Bildgebung, automatisierte Fokussierung und Ausrichtung sowie umfassende Softwarelösungen zur Erstellung präziser Berichte. Es ist ideal für Anwendungen, die genaue, rückverfolgbare und wiederholbare Messungen über mehrere Wafer und Masken hinweg erfordern.
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