Gebraucht ZYGO GPI XP #293757767 zu verkaufen
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ID: 293757767
Wafergröße: 4"
Interferometer, 4"
DELL PC
Operating system: Windows 2000.
ZYGO GPI XP ist eine leistungsstarke, voll ausgestattete Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die den anspruchsvollen Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie gerecht wird. Es bietet erweiterte Funktionen wie vollautomatische Inspektion, Fehlerklassifizierung und -identifizierung, 2D-Fehlerklassifizierung und 3D-Fehlerquantifizierung. Dieses System ist in der Lage, Fehler bis zu 200nm über den gesamten Wafer einschließlich Maske und Schattenbilder zu erkennen. Herzstück der Einheit ist ein vollfarbiges programmierbares Mikroskop, das eine erhöhte Lichtintensität, Genauigkeit und eine engere Kontrolle des Fokus bietet. Dieses optische Mikroskop wird von einer integrierten Maschine der Prozesssteuerung und Datenanalysesoftware begleitet. Eine eingebettete Softwareschicht vereinfacht das Werkzeug durch einfachere Benutzeroberfläche und einfache Bedienung. ZYGO GPIXP verfügt über eine Vielzahl automatisierter Prozessschritte wie Ausrichtung, Fehlererkennung und Klassifizierung. Die Bildverarbeitungsalgorithmen sind für die schnelle und genaue Identifizierung mehrerer Fehlertypen ausgelegt. Zu den erweiterten Funktionen gehören die Möglichkeit, Verbindungslinien, 3D-KEs und Makrofunktionen zu erkennen. GPI-XP verfügt auch über erweiterte Klassifizierungsalgorithmen, die exprimierte Fehlertypen in ihre jeweiligen Kategorien trennen können. Ein Prozess-Zusammenfassungs-Tool bietet einen schnellen Vergleich zwischen mehreren Analyseläufen und ermöglicht eine größere Palette von Komparisionen in Bezug auf Fehlertyp und Größe. Neben der ausgeklügelten Fehlererkennung und -klassifizierung umfasst GPI XP auch Module zur Feldmessung, Fehlerdichtemessung und Signalüberprüfung. Es enthält auch eine automatische Fokus-Tracking-Funktion für verbesserte Messgenauigkeit und höhere Bildqualität. Abschließend ist GPIXP eine fortschrittliche und modulare Masken- und Wafer-Inspektion, die eine umfassende Sammlung von Funktionen und anspruchsvollen Algorithmen bietet, um die Produktion von qualitativ hochwertigen Produkten sicherzustellen. Seine optischen und Softwaresysteme sind darauf ausgelegt, falsche Fehlererkennung zu minimieren und gleichzeitig den Durchsatz und die Prozessgenauigkeit zu maximieren. Ob zur Masken- oder Waferinspektion, ZYGO GPI-XP bietet die Flexibilität und Zuverlässigkeit, um nahezu jede Inspektionsaufgabe zu erledigen.
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