Gebraucht ZYGO Mark GPI-XPS #293617695 zu verkaufen
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ZYGO Mark GPI-XPS ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um eine schnelle und genaue Fehlererkennung zu ermöglichen und die Lithographieausbeute zu verbessern. Die fortschrittlichen bildgebenden Funktionen des Systems ermöglichen es, hochwertige Bilder in einer Vielzahl von Wellenlängen zu erfassen, und seine ausgeklügelten Analysealgorithmen können selbst kleinste lithographische Fehler erkennen. Mark GPI-XPS verfügt über einen Vollfeld-Gruppenoptik-Abbildungsmodus, der eine erweiterte Sichtfeld-Inspektion ermöglicht. Es bietet auch mehrere Bin-Defect-Mapping-Tools, mit denen Benutzer ihre Erkennungskriterien anpassen können. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Echtzeit-Fokusanpassung, die es ermöglicht, klare Bilder verschiedener Muster und Formen schnell und effizient zu erfassen. ZYGO Mark GPI-XPS enthält ein Dual-Station-Objektiv, das die gleichzeitige Abbildung von zwei verschiedenen Wafern ermöglicht. Diese Dual-Station-Bildgebung erleichtert die Fehlererkennung in beiden Bereichen des Wafers mit einer einzigen Bewegung. Das Objektiv bietet eine Bildvergrößerung von bis zu 500X, sodass Benutzer Fehler bis zu 1,5 nm beobachten können. Die Maschine bietet auch eine Vielzahl von Bildauflösungsmodi und kann Bilder in 2D und 3D aufnehmen. Im 3D-Modus sammelt das Werkzeug Oberflächentopographieinformationen, die es Anwendern ermöglichen, Einblick in die Struktur und das Profil einer Probe zu erhalten. Es bietet auch eine Reihe von Bildverarbeitungs- und Analysetools, einschließlich Autokorrektur, EDSEM/ZZ-SAF, 3DTEM/FTAT und andere Schleifenprüfwerkzeuge. Insgesamt ist Mark GPI-XPS ein unglaublich zuverlässiges und robustes Asset, das eine schnelle und genaue Fehlererkennung für die nächste Generation lithographischer Prozesse bietet. Es ermöglicht Anwendern, Wafer- und Maskenmuster schnell und effizient visuell zu verifizieren, was zur Verbesserung der Produktionsausbeute und des Durchsatzes beiträgt.
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