Gebraucht ZYGO Mark GPI-XPS #9258818 zu verkaufen
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ID: 9258818
Interferometers
GPI Controller
Phase Measuring Receptacle (PMR)
Kinematic tilt tip reference flat mount
Handheld controller
No computer
Cables.
ZYGO Mark GPI-XPS ist eine Maske & Wafer Inspektion Ausrüstung speziell für fortgeschrittene Photomaske und Wafer Inspektion Anwendungen entwickelt. Das System verwendet zum Patent angemeldete Nachbearbeitungstechniken, um die Ergebnisqualität in Bezug auf Auflösung, Genauigkeit und Geschwindigkeit zu maximieren, was es zu einer idealen Wahl für die Inspektion großer Arrays kleiner, komplexer Muster macht. Das Gerät ist mit zwei Kameras für die Vollfeldaufnahme ausgestattet. Die erste Kamera kann für die Hellfeldinspektion und die zweite Kamera für die Dunkelfeld-Bildgebung verwendet werden. Die Bildauflösung beträgt 1,2 µm und ist somit ideal für die hochauflösende Wafer- und Maskeninspektion. Mark GPI-XPS ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 225 mm zu inspizieren - größer als typische 200-mm-Wafer-Inspektionssysteme - und eignet sich somit gut für Prozesslecktester. Die Maschine verfügt zudem über ein hochkompressives, rauscharmes Bildgebungsdesign für beide Kameras. Dieses Design trägt zur Verringerung des Gesamtrauschpegels bei und erzeugt Bilder höherer Qualität. Das Werkzeug ist auch mit einem High-End-Beleuchter ausgestattet, um Präzisionsbeleuchtung für eine breite Palette von Inspektionsanforderungen zu bieten. ZYGO Mark GPI-XPS verfügt auch über Muster-Matching-Algorithmen, um Ergebnisse mit einer Datenbank von Referenzbildern zu vergleichen. Das Asset sucht nach Funktionen, die vorgegebenen Kriterien entsprechen, und identifiziert sie dann als identisch und eindeutig. Dieses automatisierte Verfahren hilft bei der Identifizierung potenzieller Fehler mit größerer Genauigkeit und reduziert Falsch-Positive. Mark GPI-XPS bietet Anwendern zudem eine intuitive grafische Oberfläche zur Masken- und Waferinspektion. Diese benutzerfreundliche Oberfläche hilft den Betreibern, das Modell schnell einzurichten und Masken- und Wafer-Inspektionen durchzuführen. Die Schnittstelle bietet auch leicht verständliche Ergebnisse mit automatisierten Fehlererkennungs-Tools, mit denen Benutzer Anomalien schnell erkennen können. ZYGO Mark GPI-XPS ist eine ideale Ausrüstung für Photomasken- und Waferinspektionsanwendungen. Seine Funktionen kombinieren hochauflösende Bildgebung, automatisierte Fehlererkennung und intuitive Bedienung, um die Erträge zu verbessern und die Prozessstabilität zu optimieren. Das System ist ideal für eine Vielzahl von Inspektionsanforderungen und liefert zuverlässige Ergebnisse.
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