Gebraucht ZYGO Mark II #76460 zu verkaufen
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ID: 76460
Interferometer
Zoom: 1x - 6x
Remote control for zoom and focus
Aperture: 4" (102mm)
Line voltage: 120 V or 230 V
SONY XC-ST51CE
Vertical: 50 Hz
Horizontal: 15625 Hz
Not included:
IntelliWave software from engineering synthesis design
4" Transmission flat
4" Return flat
Video monitor
Computer analysis.
ZYGO Mark II ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die zur Inspektion von Halbleiterscheiben und Masken verwendet wird. Es ist eine Kombination aus optischer, physikalischer und elektrischer Technologie. Das System besteht aus einem Rastermikroskop, einem optischen Laserinterferometer und einem visuellen Inspektionsmodul. Das Rastermikroskop dient zur Erkennung von Oberflächenfehlern in der Probe. Mit dem optischen Laserinterferometer werden die kritischen Parameter der Probe wie Abmessungen, Oberflächenebenheit und Oberflächenkrümmung gemessen. Das Sichtprüfmodul dient zur Inspektion der Ausrichtung, Oberfläche und Mikrostruktur der Probe. Die optischen Komponenten des Mikroskops sind so konzipiert, dass sie ein hochauflösendes Bild liefern. Mit den Laserinterferometern werden vertikale und laterale Positionen sowie Höhenunterschiede über die Probenoberfläche gemessen. Das Gerät verfügt auch über einen digitalen Encoder, der zur Messung von Abstand, Geschwindigkeit, Temperatur und Position verwendet wird. Mark II Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Oberflächendefekten wie Partikelverunreinigungen, Pinholes und Hohlräume zu erkennen, sowie subtilere Defekte wie Oberflächenrauhigkeit und Fehlergrößenverteilung. Mit seiner digitalen Bildgebungssoftware kann das Tool schnell eine große Anzahl von Bildern für Analyse und Vergleich erzeugen. Das Gut kann auch Auffälligkeiten im elektrischen Verhalten der Probe erkennen, wie erhöhten Widerstand oder das Vorhandensein von kurzen Hosen. Dies ermöglicht die Erkennung von Defekten während der elektrischen Prüfung der Probe. ZYGO Mark II Modell ist auch in der Lage, eine breite Palette von mechanischen Spannungen zu messen, wie Oberflächenbelastung, Spannungsgradienten, Bruchzähigkeit und Plastizität. Es kann Spannungskonzentrationen sowie die Dehnungsenergie der Probe messen. Die Anlage ist so konzipiert, dass sie vollautomatisch ist und in einem Produktionsprozess läuft. Die Steuerschnittstelle ermöglicht es dem Benutzer, den Betrieb des Systems zu programmieren, auszuführen und zu überwachen. Sie kann zum Einrichten der Einheit für eine bestimmte Anwendung oder zum Ausführen mehrerer Operationen in einer Serie verwendet werden. Mark II ist eine führende Kantenmaske und Wafer-Inspektionsmaschine, die optische, physikalische und elektrische Technologie kombiniert, um eine umfassende Lösung für die Halbleiterherstellung zu bieten. Seine vielseitigen Eigenschaften ermöglichen eine schnelle und genaue Inspektion einer Vielzahl von Halbleiterscheiben und -masken und sind damit ein ideales Werkzeug für die Zuverlässigkeit und Qualitätssicherung komplexer Halbleiterstrukturen.
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