Gebraucht ZYGO Mark IV #9292128 zu verkaufen

ZYGO Mark IV ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen. Es ist ein automatisiertes Multi-Sensor-Inspektionswerkzeug, das eine umfassende Fehlererkennung an einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. Das System kombiniert mehrere fortschrittliche Bildgebungstechniken, um Benutzern beispiellose Genauigkeit und Auflösung zu bieten. Laser Interference Microscopy (LIM) wird verwendet, um Oberflächenfehler zu erkennen, während ein fortgeschrittenes Modul namens Automated Pattern Recognition (APR) verwendet wird, um Masken und Wafer auf lithographische verwandte Defekte zu untersuchen. Darüber hinaus wird Defocus Sensitivity Imaging (DSI) zur Submikron-Detektion von Partikeln und kleinen Defekten verwendet, während eine CCD-Kamera (Charge Coupled Device) verwendet wird, um weitwinklige, musterspezifische Defekte zu erfassen. Dieses Gerät ist auch mit mehreren benutzerfreundlichen Funktionen ausgestattet, einschließlich automatischer Fehlerklassifizierung und einer detaillierten Fehlerbibliothek. Diese Bibliothek enthält die Messungen früherer Ziele und ermöglicht eine schnelle und effiziente Überprüfung ähnlicher Ziele. Um Fehler weiter zu reduzieren und die Genauigkeit während der Fehlerberichterstattung zu erhöhen, enthält die Maschine mehrere Fehlerfilteralgorithmen, die an die Anforderungen des Benutzers angepasst werden können. In Bezug auf die Automatisierung verfügt Mark IV über Funktionen wie einen automatischen Werkzeugzentrierungsprozess (ATC) und ein Defect Split Tool (DST), die zur Vereinfachung der Einrichtung und Bedienung des Werkzeugs beitragen. Darüber hinaus wird das ADM-Tool (Automated Defect Mapping) verwendet, um eine umfassende Fehlerdichtekarte zu erstellen, die praktisch überall verwendet werden kann. Das Asset bietet außerdem eine webbasierte Berichtsfunktion, mit der Benutzer schnell und einfach auf fehlerbezogene Daten von einem einzigen Bildschirm aus zugreifen können. Neben einer umfassenden Palette an Funktionen ist ZYGO Mark IV auch für den kontinuierlichen Betrieb konzipiert, was maximale Betriebszeit und Effizienz gewährleistet. Das Modell hat auch einen modularen Aufbau, der es Anwendern ermöglicht, ihre Ausrüstung einfach und kostengünstig zu aktualisieren, wenn sich ihre Inspektionsbedürfnisse ändern. Abschließend ist Mark IV ein umfassendes, automatisiertes Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das Anwendern beispiellose Erkennungsgenauigkeit und Auflösung bietet. Mit seinen fortschrittlichen Bildgebungs- und Fehlerfilterfähigkeiten ist das Gerät ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Fertigungsprozessen.