Gebraucht ZYGO MicroLUPI #9280679 zu verkaufen
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ID: 9280679
Interferometer
Worktable
Vibration isolation table
Laser power supply
Motor driver assembly
X/Y stage
Motion controller
Power manager.
ZYGO MicroLUPI - Maske und Wafer Inspection Equipment ist ein Durchbruch in der hochauflösenden Masken- und Wafer-Inspektionstechnik. Es bietet unübertroffene Genauigkeit in der Fehlererkennung und Reparatur mit direkter Visualisierung von mikroskopischen Defekten auf jeder Größe oder Art von Maske oder Wafer. Das System kann Fehler bis zu einer Größe von weniger als 1 Nanometer erkennen und es dem Bediener ermöglichen, jeden Fehler schnell und genau zu identifizieren und zu lokalisieren. MicroLUPI-Einheit besteht aus fortschrittlichen Hardware- und Softwarekomponenten, die eine schnelle und genaue Vorprüfung und Analyse des Wafers oder der Maske ermöglichen. Dazu gehören fortgeschrittene Optik, automatisierte Mustererkennungsalgorithmen und spezielle Software. Die Software kann eine virtuelle Darstellung der Maske oder des Wafers bereitstellen, sodass der Benutzer die Fehler in 3D visualisieren kann. Diese Kombination von Technologie ermöglicht es dem Anwender, auch kleinste, anspruchsvollste Mängel zu erkennen. Die Maschine nutzt patentierte Bildvergrößerung Hardware und Software, um Masken oder Wafer auf mehreren Ebenen zu analysieren. Der Benutzer kann die Vergrößerung bis zu 15.000 x anpassen, um Fehler eindeutig zu erkennen und zu lokalisieren. Das Werkzeug erfasst in wenigen Sekunden bis zu 800 Bilder des gemusterten Bereichs, so dass der Anwender schnell eine Detailansicht der gesamten Maske oder des Wafers erhalten kann. Das Asset kann gleichzeitig topologische und dimensionale Defekte erkennen, so dass der Benutzer Unterschiede in Topologie und Materialdicke erkennen kann. Der ausgeklügelte Inspektionsalgorithmus von ZYGO MicroLUPI soll jeden Fehler automatisch identifizieren und quantifizieren. Dieser Prozess verwendet spezialisierte Optik, eine ausgeklügelte Bilderkennungssoftware und einen leistungsstarken Mustererkennungsalgorithmus, mit dem der Bediener eindeutige Fehler erkennen und klassifizieren kann. Diese Daten werden dann zur weiteren Analyse gespeichert oder können zur sofortigen Behebung von Defekten verwendet werden. Insgesamt ist MicroLUPI ein leistungsstarkes und hochgenaues Masken- und Wafer-Inspektionsmodell. Es bietet ultra-hohe Auflösung, um die kleinsten Fehler zu erkennen und zu reparieren, während eine gründliche Analyse der Maske oder Wafer zur Verfügung stellt. Diese Vielseitigkeit ermöglicht es dem Anwender, sowohl komplexe Strukturen als auch einfache Muster mit Leichtigkeit zu analysieren. Insgesamt ist ZYGO MicroLUPI die perfekte Lösung, um auch schwierigste und kleinste Mängel zu erkennen und zu reparieren.
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