Gebraucht ZYGO NewView 5000 5022 #9203844 zu verkaufen

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ID: 9203844
Optical 3D surface profiler (2) Objectives: 10x, 50x Additional manual zoom range: 0.4 to 2.0 3 Dimensional high precision measurement Reference standards: Step height by VLSI Microscope imaged details with surface profiler Non-contact scanning white light interferometry Computer non-functional Computer missing.
ZYGO NewView 5000 5022 ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Präzisionsmessung von IC-Strukturen in Halbleiterscheiben. Das System ist in der Lage, sowohl Wafer-Montagerahmenkonstruktionen als auch Seitenwandkonstruktionen zu überprüfen. Die Einheit besteht aus einem hochauflösenden Bildgebungspfad, einschließlich eines rauscharmen CCD-Bildgebungsarrays, einem optischen Mikroskop und einer Abbildungsoptik. Die Abbildungsoptik besteht aus einer Objektivlinse, einem dichroitischen Filter und einer festen Vergrößerung von 0.25X bis 5X. Der Bildgebungspfad ist so konzipiert, dass er eine ausgezeichnete Kontrastempfindlichkeit und hohe Detailtreue bietet und gleichzeitig Hintergrundbildrauschen minimiert. Das Tool bietet auch automatisierte Fokussierung und Bildnähte, um ein konsistentes Bild über den Wafer zu gewährleisten. Für die komplexe Fehlererkennung bietet das Asset eine breite Palette von automatisierten Tools zur Kontrastverbesserung, einschließlich Schärffilter, Binarisierung und Glättung. Das Modell bietet auch eine Reihe von Tools zur Inspektionsanalyse, einschließlich eines Mustererkennungswerkzeugs, mit dem Fehlertypen wie Oxidleitungsfehler, fehlende Schaltungselemente und Queroxidrisse erkannt werden können. Darüber hinaus umfasst das Gerät einen 3D-Inspektor zur genauen Messung von Seitenwandprofilen und geometrischen Verzerrungen. Der 3D-Inspektor bietet auch eine kritische Bemaßung, die die Genauigkeit der Seitenwandbemaßungen in einem einzigen Durchlauf bewertet. Das System verfügt über einen integrierten Mess- und Analysebildschirm, der Anwendern die Möglichkeit bietet, ihre Inspektionsergebnisse zu analysieren. Der Analysebildschirm ermöglicht es Benutzern, spezifische Toleranzen für Inspektionsparameter festzulegen und einen genauen Bericht über die Gesamtbasisleistung der geprüften Wafer zu erhalten. Darüber hinaus ermöglicht das Gerät den Vergleich von Muster-ICs über mehrere Wafer hinweg, um eine konsistente Leistung zu gewährleisten. Um den Anforderungen der Industrie gerecht zu werden, entspricht die Maschine einer Reihe internationaler Standards, wie die neuesten ISO9000 Richtlinien. Das Tool verfügt außerdem über integrierte Sicherheits- und Rückverfolgbarkeitsfunktionen, die den Datenschutz und die Rückverfolgbarkeit bei Messungen und Inspektionen gewährleisten. Insgesamt ist NewView 5000 5022 eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektion, die eine hervorragende Kontrastempfindlichkeit und Detailerkennung, automatisierte Fokus- und Bildnaht, 3D-Inspektion für Seitenwände und kritische Dimensionsmessung sowie eine Reihe von Analyse- und Berichtsfunktionen bietet. Das Modell entspricht internationalen Standards und bietet eine Reihe von Rückverfolgbarkeits- und Sicherheitsmerkmalen, wodurch es sich ideal für die Herstellung, Inspektion und Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie eignet.
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