Gebraucht ZYGO NewView 7300 #9276460 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9276460
3D Optical profiling system
Stage, 8"
Mega pixel camera:
Automated 3-position multiple system
With 1.0x Zoom lens
Low noise
Large field
Digital closed loop piezo scanning
Transducer
Capacitive: 150 Micron scan
Illuminator with LED
Accommodates objectives: 1x - 100x
Extended scan, 20 mm
Vertical res: < 0.1 nm
RMS Repeatability: < 0.01 nm
Accessory:
6-Axis Base stage
Motorized Tip / tilt: X / Y / Z and theta included
Travel:
X / Y, 8"
Z, 4"
Rotation: +/- 90 Degree
PR travel: +/- 4 Degree
Options / Accessories:
Part number / Description
6300-0459-01 / Electronics, Power Kit 110/120 VAC (US) Included base system
6300-0650-02 / Manual encoded turret (4-Pos) (NV 600 / 700 / 6000 / 7000)
6300-0526-02 / Accessory: 2.0x Field zoom lens
6300-0522-02 / Accessory: 0.5x Field zoom lens
6300-0593-01 / Objective: 5x Michelson objective
6300-0595-01 / Objective: 20x AF Objective
6300-0597-01 / Objective: 50x Objective, thermally compensated
1840-700-105 / Vibration isolation table, 24 x 24 x 30 (LWH)
6300-2080-01 / Workstation table
6300-3434-01 / Workstation table, 1840-700-105 (NV 5000, 6000 and 7000 Series) / 1840-700-015 (GPI, MESA)
1776-666-012 / Accessory, SiC precision reference flat (30 mm Diameter)
1670-000-020 / Accessory, standard lateral calibration
1776-666-010 / Accessory, standard step height standard 1.75 um.
ZYGO NewView 7300 ist eine hochwertige Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um robuste, zuverlässige und kostengünstige Lösungen für Maskenhersteller und Halbleiterhersteller anzubieten. Es handelt sich um ein komplettes Wafer- und Maskeninspektionssystem bestehend aus mehreren hochmodernen Komponenten. Das Gerät verfügt über ein modernes und präzises optisches Subsystem zur Hochgeschwindigkeitsbildgebung von Masken, Siliziumwafern und Flachbildschirmen. Die optische Konfiguration verwendet vier helle, gepulste, Ein-Millimeter-Wellenlängen-LEDs für erweiterte Empfindlichkeit und breites Sichtfeld. Zusätzlich verwendet die Maschine einen spezialisierten optischen Motor exklusiv für ZYGO für maximale Waferabdeckung. ZYGO NEW VIEW 7300 bietet auch einen 32-Bit-Dual-Core-Prozessor mit 512 MB RAM, der Submikron-Auflösung und -Geschwindigkeit für das Hochdurchsatz-Screening und die Analyse großer Formgeometrien ermöglicht. Das Tool verwendet eine einzigartige Real Image Capture mit hybrider Chromatic Aberration Reduction (C.A.R.) Technologie für verbesserte Genauigkeit und Auflösung. Großer Betrieb mit mehreren Anbietern wird durch die mitgelieferte Bibliothek mit Geräte- und Materialparametereinstellungen unterstützt, um eine optimale Leistung bei den Produktionserträgen zu erzielen. Das Asset verfügt über eine Vielzahl von Analysewerkzeugen, darunter mehrere bildgebende Analysefunktionen, statistische Analysen, mehrdimensionale Bildwürfel und spektrale Ertragsanalysefunktionen. Die intuitive Benutzeroberfläche bietet leistungsstarke Automatisierungsfunktionen, die eine detaillierte und schnelle Überprüfung kritischer Fehler ermöglichen. Es unterstützt auch große Stempeluntersuchungen von Defekten, Fehleranalysen und Prozessfehlerdiagnosen und Reparaturen. NewView 7300 bietet auch mehrere erweiterte Funktionen für die Handhabung großer Wafer und unterstützt die Einrichtung mehrerer Kammern. Das mehrschichtige Maskeninspektionsmodell kann bis zu 10 Schichten in einem Durchgang inspizieren, während die Full-Wafer-Inspektionsgeräte bis zu 25 Schichten in einem Durchgang handhaben können. Das System nutzt ein patentiertes Array von X-, Y-, Z-Prismenpaketen für Homing und Tracking und dimensionale Messtechnik von Geometrien. NEW VIEW 7300 ist auch kompatibel mit mehreren Wafer-Handling-Subsystemen, einschließlich automatisierter Wafer-Transfer und Transport, Multi-Bay-Load-Ports und Sample-Prep-Systeme. Es kann in eine Vielzahl von Automatisierungssystemen von Drittanbietern integriert werden und ermöglicht die Übertragung und Verfolgung von Wafern ohne manuelle Eingriffe. Schließlich ist das Gerät für eine einfache Wartung ausgelegt, mit einer kompakten Bauweise und minimalen Ersatzteilanforderungen. Abschließend ist ZYGO NewView 7300 eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die entwickelt wurde, um die schnellste und effizienteste Möglichkeit zur Überwachung der Maskenleistung, der Wafergeometrie und der Funktionsabmessungen zu bieten. Es bietet erweiterte Funktionen, unglaubliche Genauigkeit und Flexibilität für Hochdurchsatz-Screening und Ertragsanalyse.
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