Gebraucht ZYGO NewView Maxim GP #156895 zu verkaufen

ID: 156895
Interferometer Nikon Objective 2.5 TI/0.075 Electronic Enclosure 5 Axis Stage Drive (2) CRT Monitors PC Unit Power Supply Cables Measurement Technique: Phase Modulated/Phase Shifting. Part Viewing: Real-time Video Monitor Focus Control: Coarse Wheel - 22 mm/turn, with tension adjust Medium Knob - 4.7 mm/turn, with tension adjust Fine Knob - 0.2 mm/turn Vertical Travel: 5.1 in. (130 mm) Objective Mounting Single dovetail mount, Camera Size: Up to 640 x 480 pixels Electrical: Incoming Power from Electronic Enclosure Operating Environment: Temperature: 15° to 30°C (59° to 86° F) Rate of Temperature Change: <1.0°C/15 minutes Humidity: 5 to 95% relative, noncondensing Vibration: Frequency Isolation - 1Hz < freq < 120Hz Performance: Vertical Resolution: 0.1 nm Maximum Vertical Step Height: 100 turn Vertical step height: 100 microns.
ZYGO NewView Maxim GP ist eine umfassende Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Das System ist darauf ausgelegt, schnell wechselnde Parameter einer Maske oder Wafer-Probe in einer Hochdurchsatzumgebung zu messen. Das Gerät wird um ein leistungsstarkes Laserinterferometer und eine digitale Bildverarbeitungsmaschine gebaut, die beide präzise gesteuert und leicht kalibrierbar sind. Das Laserinterferometer bewertet die dreidimensionalen Mikrostrukturen einer Probe durch Messung der Höhendifferenz zwischen Punkten auf der Probe. Dies ermöglicht die genaue Messung kritischer Eigenschaften wie Linienbreite und Mustertreue über eine Vielzahl von Probengrößen. Die digitale bildgebende Komponente des Werkzeugs verwendet dann farbcodierte Overlays, um andere Eigenschaften wie Energieabsorption und Lichtdurchlässigkeit auszuwerten. Das Asset enthält eine Vielzahl von Einstellungen, um den Inspektionsprozess für verschiedene Musterklassen zu optimieren. Dazu gehören Anpassungen des Einfallswinkels, der Strahlvergrößerung und der Fokustiefe. Zusätzlich kann der Benutzer den für eine bestimmte Probe erforderlichen Intensitäts- oder Korrelationsgrad einstellen. ZYGO MAXIM GP umfasst erweiterte Software-Tools zur Analyse der bei jeder Inspektion gesammelten Daten. Die Software macht es einfach, Ergebnisse über verschiedene Arten von Proben, Prozessen und Instrumenten zu vergleichen. Es verfügt auch über ausgeklügelte Analysetools wie FFT und Overlays, mit denen Bediener Fehler an einer Probe schnell erkennen können. Das Modell ist mit einem Schwerpunkt auf Sicherheit und Komfort entworfen. Ein Schutzgehäuse schirmt Bediener vor der Laser-/Strahlenstrahlung ab und die Sicherheit der Geräte wird regelmäßig mit Interlocks und externen Sensoren getestet. Alle Komponenten der Maschine sind leicht zugänglich und können schnell für Wartung oder Austausch entfernt werden. Darüber hinaus ist das System so konzipiert, dass es schnell und effizient ist, mit einer durchschnittlichen Scanzeit von unter einer Minute. NewView Maxim GP ist eine fortschrittliche und umfassende Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die überlegene Datengenauigkeit und robuste Leistung unter hohen Durchsatzbedingungen bietet. Seine fortschrittlichen Komponenten bieten überlegene bildgebende Fähigkeiten und ermöglichen die schnelle und präzise Messung kritischer Parameter einer Probe. Darüber hinaus sind seine optimierten Funktionen, Sicherheitsmerkmale und Benutzerfreundlichkeit die ideale Wahl für Fachleute der Halbleiterindustrie, die eine schnelle, genaue und zuverlässige Inspektion suchen.
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