Gebraucht VEECO / DEKTAK Dimension X3D #9375522 zu verkaufen

VEECO/DEKTAK Dimension X3D ist ein voll ausgestattetes Labormikroskop für die Präzisionshalbleitermesstechnik. Es kombiniert optische und Rasterelektronenmikroskop (SEM) Fähigkeiten, 3D-Bildgebung, hocheffiziente Niedrigvakuum und Hochvakuum-Modi und automatisierte Abbildung. Das integrierte System ermöglicht eine eingehende Analyse von Strukturen über einen gesamten Wafer sowie die Online-Probenvorbereitung und -inspektion. Damit eignet er sich besonders gut zur Ermittlung von Problemen mit Strukturen auf Mikron- und Nanometerebene. Das System verwendet hochpräzise Optik und Hochgeschwindigkeits-Scanstufen sowie einen fortschrittlichen Reflektronenpfad, um Sekundärelektronen oder Schneidkanten zu detektieren und eine Auflösung von Sub-Nanometern zu erzielen. Die Bildgebung wird durch den Einsatz von entmagnetisierenden Optiken und Objektiven mit niedriger Leistung optimiert, die es ermöglichen, alle Oberflächen einer Halbleiterprobe in 3D abzubilden oder zu untersuchen. Darüber hinaus verfügt das X3D über eine einzigartige Niederspannungsansichtstechnik, so dass die Probe bis zur Auflösung von 3 nm betrachtet werden kann. Für die automatisierte Probenabbildung verwendet die X3D eine spezielle Technik namens Photon-Excited Secondary Electron Emission (PSEE), um die Morphologie der Probe zu detektieren. PSEE ermöglicht eine schnellere Abbildung der Topographie der Probe als herkömmliche Methoden wie topographische Bildgebung. Darüber hinaus wurde die X3D verbessert, um die Menge der erzeugten Sekundärelektronen zu reduzieren und glattere Bilder zu erhalten. Das X3D umfasst auch eine umfassende Software-Suite, mit der das Mikroskop gesteuert, Bilder analysiert und sogar Daten aufgezeichnet und analysiert werden können. Die Software kann verwendet werden, um Bilder anzuzeigen und automatisch Messberichte zu erstellen, sowie das Vorhandensein von Fehlern und Mängeln in der Probe sowie andere Merkmale von Interesse zu ermitteln. Darüber hinaus umfasst die Software Tools zur Fehlergröße und Formdiskriminierung sowie Fehleranalysetechniken. Das X3D ist von einem einzigen Arbeitsplatz aus steuerbar und kann mit automatisierten Systemen, wie z.B. Probemaschinen, verbunden werden. Damit ist das X3D eine ideale Wahl für schnelle messtechnische und Prozesskontrollanwendungen. Das X3D ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für die Halbleitermesstechnik und bietet Anwendern überlegene Leistung, Langlebigkeit und Automatisierungsfunktionen. Die X3D kombiniert mit der Expertise und Unterstützung von VEECO und DEKTAK macht es zur idealen Wahl für jede hochpräzise Halbleitermesstechnik-Anwendung.