Gebraucht CREATEC FISCHER Molecular Beam Epitaxy (MBE) system #293759777 zu verkaufen
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ID: 293759777
Process: GaAs
Small load lock chamber
Fore vacuum pump
(2) Turbo-molecular pumps (Pfeifer vacuum)
Vacuum pump station
Integrated fore vacuum pump
Turbo-molecular pump
Power supply and controller (Pfeifer vacuum)
(2) Ion-getter pump (Meca 2000, Vinci)
(2) Titanium sublimation pumps
(5/6) Vacuum valves (VAT Group)
(3) Transfer arms
(2) Manipulators
(2) sample holders (Temperature range 0-950°C) with in-plane sample rotation
(2) UHV Chambers
Chamber heater (With power supply) for UHV Vacuum (10^-11 mbar)
(3) Effusion cells (Ga, As, metal)
(2) Electron beam guns
Quadrupole mass spectrometer for both e-guns for growth control
Quartz crystal monitor for thickness control
Power supplies
Controllers
Manuals.
CREATEC FISCHER Molecular Beam Epitaxy (MBE) ist ein modernes Werkzeug auf dem Gebiet der Halbleiterforschung und -entwicklung. MBE ist eine hochpräzise Technik zum Abscheiden dünner Materialschichten auf einem Substrat mit atomarer Steuerung und eignet sich somit ideal für die Erstellung hochwertiger Halbleiterstrukturen für fortschrittliche elektronische und optoelektronische Bauelemente. CREATEC FISCHER MBE System ist bekannt für seine außergewöhnliche Leistung und Vielseitigkeit in wachsenden komplexen Halbleiterheterostrukturen mit beispielloser Präzision und Einheitlichkeit. Diese Einheit wurde entwickelt, um den hohen Anforderungen von Forschungslabors und Fertigungsanlagen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen gerecht zu werden. Herzstück der MBE-Maschine ist eine Ultrahochvakuum (UHV) -Kammer, die mit mehreren Effusionszellen, Elektronenstrahlverdampfern und anderen Abscheidungsquellen zum Wachsen dünner Filme aus verschiedenen Element- und Verbundhalbleitermaterialien ausgestattet ist. Die UHV-Umgebung sorgt für einen kontaminationsfreien Wachstumsprozess, der für die Erzielung hochwertiger Epitaxieschichten mit definierten Kristallstrukturen unerlässlich ist. Eines der Hauptmerkmale des CREATEC FISCHER MBE Tools ist seine ausgeklügelte Steuerung, die es Forschern ermöglicht, die Wachstumsbedingungen wie Substrattemperatur, Flussraten von Ausgangsmaterialien und Abscheideraten genau abzustimmen. Dieses Kontrollniveau ermöglicht das epitaktische Wachstum komplexer mehrschichtiger Strukturen mit maßgeschneiderten Eigenschaften, einschließlich Quantenbohrungen, Quantenpunkten und anderen Nanostrukturen mit einzigartigen elektronischen und optischen Eigenschaften. Darüber hinaus ist das MBE-Modell mit In-situ-Überwachungs- und Charakterisierungswerkzeugen wie Reflexion-Hochenergie-Elektronenbeugung (RHEED), Auger-Elektronenspektroskopie (AES) und Massenspektrometrie ausgestattet. CREATEC FISCHER MBE-Ausrüstung bietet auch erweiterte Möglichkeiten zum Dotieren von Halbleitermaterialien mit präzisen Konzentrationen von Verunreinigungen, um ihre elektrischen Eigenschaften zu modifizieren. Durch den Einbau von Dotierstoffen während des epitaktischen Wachstumsprozesses können Forscher die Trägerkonzentrationen und Mobilitäten von Halbleiterschichten für spezifische Geräteanwendungen wie Hochgeschwindigkeitstransistoren, Leuchtdioden (LEDs) und Photovoltaikzellen anpassen. Darüber hinaus unterstützt das MBE-System die Integration mehrerer Abscheidungstechniken wie Molekularstrahl-Epitaxie, metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) und gepulste Laser-Abscheidung (PLD). Zusammenfassend stellt die CREATEC FISCHER MBE-Einheit ein hochmodernes Werkzeug für das epitaktische Wachstum von Halbleitermaterialien mit außergewöhnlicher Präzision und Kontrolle dar. Seine erweiterten Funktionen, einschließlich UHV-Kammerdesign, In-situ-Überwachungsfunktionen und Doping-Funktionalitäten, machen es zu einem wertvollen Kapital für Forscher und Ingenieure, die an der Entwicklung von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation mit maßgeschneiderten Eigenschaften und Leistung arbeiten.
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