Gebraucht CUSTOM / NEXGEN 440 S1 MBE #9233063 zu verkaufen
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ID: 9233063
MBE Growth chamber
For eBeam deposition of metals
With loadlock
VEECO GEN II Manipulator
Includes:
(2) THERMIONICS LAB INC / TLI HM2 Series eGun TM
(2) 10CC Crucibles with 8" OD CF mounted
(2) Pneumatic shutters
(2) Water interlock switches
Switching e-Gun power supply: 15 kW
Gun controllers filament transformer & cables
(2) X-Y Beam sweep controllers
Flux monitor sigma EIES guardian
RHEED kSA 400
With 30eV power supply
STAIB Gun computer controller
With remote control box
VEECO CAR 3" Dual zone with heater
Power supplies
Controller
Substrate rotation & angle to evaporation / Loading
PFEIFFER MVP 070-3 Diaphragm vacuum pump
PFEIFFER Mechanical-turbo pump with DCU
(2) MKS 999 Quattro
EXTORR XT100 Residual gas analyzer
GRANVILLE PHILLIPS 350 Ionization gauge & controller
NESLAB HX300 E-Guns chiller
OXFORD INSTRUMENTS Cryo-Plex 8, Diode, UHV with burst disc
PFEIFFER MVP 070-3 Diaphram vacuum pump
Holding system at 10-kelvin
Chamber & E-Gun cooling
Manuals
Does not include:
MKS Microvision 1-6AMU RGA
Atomic hydrogen source with automated valve positioner
Chiller for sample & H+ source cooling
Chiller for main chamber cooling
LESKER LVM940 Leak valve
PC System
(2) XHR 60-18 XANTREX power supplies
(3) EUROTHERM controllers
Optitherm III Optical fiber pyrometer
Temperature range: 600°C to 1500°C
GAMMA Vacuum ion pump
150T
Titan DI
(6) CFF
VAT Valve.
CUSTOM/NEXGEN 440 S1 MBE ist ein hochmodernes Molekularstrahl-Epitaxiesystem, das bei der Untersuchung des Wachstums und der Charakterisierung ultradünner (Dicke weniger als 1 μ m) Halbleiterfilme eingesetzt wird. Es ist eine vielseitige, Multi-Barrier-Epitaxie-Einheit mit einer erweiterbaren Konfiguration und umfasst Komponenten wie eine Last-Lock-Kammer, Sputterkit, E-Beam Gun, Heizelemente, Dual-Source-Abscheidung mit Source-Mixed-Modus und einen integrierten UHV-Maschinensteuerung. Die Lastschloßkammer dient zur Minimierung der Gaseinleitung und Verunreinigung und zur Aufrechterhaltung eines stabilen UHV in der Hauptvakuumkammer. Dies ermöglicht auch die Abscheidung mehrerer Testproben in derselben Kampagne. Das Sputterkit ermöglicht die Untersuchung von Metallen wie Titan, Silber, Molybdän und Palladium mit einem Multi-Pocket-Target. Die E-Strahl-Pistole wird auch verwendet, um Substratmaterialien bei Bedarf zu verdampfen. Darüber hinaus werden die Heizelemente eingesetzt, um kompliziertere Strukturen wie Bilayer zu entwickeln, während die Dual-Source-Abscheidung eine präzise Zusammensetzung und Schichtprofil von abgeschiedenem Material in einem Source-Mixed-Modus für Mehrlegierungsstrukturen gewährleistet. Abgesehen davon nutzt das CUSTOM 440 S1 MBE Tool auch einen leistungsstarken UHV Asset Controller. Dies ermöglicht einen automatisierten Betrieb und eine präzise Steuerung aller Vakuum- und Abscheideparameter, Datenerfassung, zeitabhängige Betriebssteuerung und vieles mehr. Dies bietet auch Echtzeit-Parameterüberwachung, sowohl für den Modellstatus als auch für die Materialabscheidung, um genaue Experimente und genaue Ergebnisse zu gewährleisten. Außerdem ermöglicht die Quellmischweisendoppelquelle-Absetzung bessere Kontrolle über Schichtenprofile, Temperatur, Zusammensetzung, und erleichtert weitere Manipulation des abgelegten Materials, solcher als mit dem Anisotropic-Ätzen. Darüber hinaus bietet es auch eine bessere Präzision beim Wachstum komplexer Strukturen wie Quantenpunkte. Kurz gesagt, NEXGEN 440 S1 MBE ist ein fortschrittliches Werkzeug zur Untersuchung des Materialwachstums und der Charakterisierung ultradünner Filme. Es verwendet ein vielseitiges Multibarrieresystem, mit einem integrierten UHV-Controller, verschiedenen Heizkomponenten, Sputterkit und einer leistungsstarken E-Beam-Pistole. Mit seinem ausgeklügelten Design bietet es eine präzise Kontrolle über Abscheidungsparameter und Schichten und bietet fortschrittliche Werkzeuge zum Ätzen und Manipulieren von abgeschiedenen Materialien. Dies macht es ideal für die Forschung und Entwicklung von Materialien für Nanodesigns und elektronische Anwendungen.
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