Gebraucht VARIAN / VEECO GEN 200 #293602410 zu verkaufen

ID: 293602410
Weinlese: 2008
MBE System 2008 vintage.
VARIAN/VEECO GEN 200 ist eine Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Ausrüstung, die für fortschrittliche Nanofabrikationsfähigkeiten entwickelt wurde. Das System ist für die Herstellung hochwertiger dünner Materialfolien mit außergewöhnlicher Kontrolle und Präzision ausgelegt. Es ist ein vielseitiges Werkzeug, das in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann, von elektronischen und optoelektronischen Bauelementen bis hin zu supraleitenden Quantenelementen. VEECO GEN 200 ist eine Mehrkammer-Abscheideeinheit. Es besteht aus drei Hauptkammern: dem Lastschloß, der Prozesskammer und der Plattformkammer. Das Lastschloß ermöglicht den sicheren Transfer von Substraten und Proben in und aus der Maschine. Es ist mit einem automatisierten Lade- und Entladewerkzeug ausgestattet. Die Prozesskammer ist für die eigentliche Abscheidung verantwortlich und in drei getrennte Zonen unterteilt: eine Substratmanipulationszone, eine Verdampfungszone und eine Abgaszone. Die Substratmanipulationszone ist mit einer temperaturgesteuerten Palette zur stabilen Substrattemperaturregelung ausgestattet. Die Verdampfungszone ist mit zwei Hochfrequenzquellen (RF) zur Herstellung der zur Filmabscheidung notwendigen Dampfspezies (oder Vorläufer) ausgestattet. Die Abgaszone enthält Pumpen und Filter zur Entfernung flüchtiger Verbindungen. Die Plattformkammer dient als Zwischenpufferkammer zur Führung und Stapelung der Substrate und ist außerdem mit einem automatisierten Beladevorrichtung und einem Temperiermodell ausgestattet. Die Ausrüstung VARIAN GEN 200 MBE ermöglicht eine präzise Steuerung der Parameter, die das Wachstum dünner Filme beeinflussen. Dazu gehören die Temperatur des Substrats, der Druck und die Zusammensetzung des Reaktionsgases und der Fluss der eintreffenden Spezies. Dies geschieht durch eine Kombination aus unabhängigen Temperaturreglern, Durchflussreglern, Druck- und Massenstromreglern und anderen Prozessparametern. Das System verfügt zudem über ein robustes Datenerfassungs-Softwarepaket, das eine Echtzeit-Überwachung der Daten und die Steuerung der verschiedenen Prozessparameter ermöglicht. Dieses Softwarepaket umfasst eine umfassende Bedieneinheit für eine breite Palette von MBE-Prozessen sowie erweiterte Plotingtools und Dienstprogramme für die Datenanalyse. GEN 200 wurde erfolgreich zur Herstellung leistungsstarker optoelektronischer und elektronischer Geräte eingesetzt und ist zu einem beliebten Werkzeug für Forschung und Produktentwicklung in den unterschiedlichsten Bereichen geworden. Seine außergewöhnlichen Fähigkeiten und Vielseitigkeit machen es zu einem nützlichen Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen.
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