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VEECO Gen II
ID: 293627901
MBE Systems.
VARIAN/VEECO GEN II ist ein modernes Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -System, das die Abscheidung von dünnen Schichten aus hochreinen Materialien mit präziser Kontrolle über die Materialzusammensetzung und Sub-Nanometer-Genauigkeit in der Dicke ermöglicht. Es verwendet eine Kombination aus spezialisierten Hardwarekomponenten, fortschrittlicher Software und fein abgestimmten Prozessen, um das Schichtwachstum bei zuverlässiger Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. VEECO GEN II verfügt über mehrere Schlüsselkomponenten. Die Basis des Systems ist die Vakuumkammer, zusammen mit den Geräten benötigt, um zu evakuieren und füllen Sie die Kammer mit den gewünschten Prozessgasen. Innerhalb der Kammer befindet sich ein Substratheizer, der zur präzisen Temperaturregelung des abzuscheidenden Materials dient. Mit einer E-Strahlpistole wird ein Elektronenstrahl zur Förderung der Desorption, Abscheidung und/oder Strukturierung von Materialien innerhalb der Vakuumkammer bereitgestellt. Die E-Strahl-Pistole kann auch verwendet werden, um die Dosis oder Intensität des Elektronenstrahls unter Steuerung bestimmter Eigenschaften des Schichtwachstums zu variieren. Darüber hinaus enthält VARIAN GEN II mehrere Sätze von Effusionszellen, die es ermöglichen, elementare Gasquellen (wie Germanium und Arsen) in die Abscheidekammer zu dosieren. Diese Zellen verfügen über präzise Temperaturregler und Schlitzkollimationsaggregate, um eine exakte Kontrolle der Materialmikrostruktur und -dicke zu gewährleisten. GEN II weist auch mehrere Sätze von Verschlußanordnungen auf, die geöffnet oder geschlossen werden können, um die Menge des in die Abscheidekammer eingeleiteten Materials genau zu steuern. VARIAN/VEECO GEN II verwendet einen „Single Cycle“ -Ansatz für das Schichtwachstum: Kammer, Substrat und Quelle alle Zyklus zusammen, um perfekte Kontrolle und Gleichmäßigkeit für jede gewachsene Schicht zu bieten. Die Kammer kann mit flüssigem Stickstoff unter Druck gesetzt und fixiert werden, was den Durchsatz und die Steuerung der Wachstumsrate erhöht. VEECO GEN II hat auch einen vollautomatischen „Rezept“ -Ansatz, was bedeutet, dass ein Benutzer die gewünschten Schichtparameter eingeben kann und VARIAN GEN II automatisch alle Prozessschritte übernimmt, die zum Abscheiden dieser Schicht erforderlich sind. Der MBE GEN II ist der Inbegriff moderner Dünnschichtabscheidungssysteme. Es ermöglicht Präzisionsschichtwachstum und Kontrolle über Materialparameter, bietet aber auch einen hohen Durchsatz mit seinen vollautomatischen Operationen.
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