Gebraucht VEECO Gen II #9080731 zu verkaufen
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VARIAN/VEECO GEN II ist eine Sechskammer-Ausrüstung der Molekularstrahl-Epitaxie (MBE). Dieses System sorgt für das Wachstum von Dünnschichtmaterialien für Anwendungen wie elektronische Bauelemente, Halbleiterheterostrukturen und nanoskalige Strukturen. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten, die jeweils einem bestimmten Zweck dienen. Diese Komponenten bestehen aus einer Kühlfalle, einem Verdampfer, einer Abscheidekammer, einem UHV-Shutter, einer He-Plasmaquelle, einem Hochvakuumpumpensatz, einem Turbopumpensatz, einer Plasmamaschine sowie einer I/O-Steuerung und Schnittstelle. Das Werkzeug beginnt mit dem Einbringen des Substrats in die Kühlfalle, wo ein Kühlvorgang stattfindet. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Temperaturverteilung über das Substrat. Sobald das Substrat auf einer vordefinierten Temperatur ist, lädt ein Verdampfer das Material auf, kann erwärmt und verdampft werden. Nach Verdampfen des Materials wird das neue Material in der Abscheidekammer auf die Substratoberfläche abgeschieden. Das Gas wird aus dem UHV-Verschluß in die Kammer eingeleitet, wonach sich das Substrat langsam wieder erwärmt, so daß das neue Material auf das Substrat abgeschieden werden kann. Dies geschieht mit einer He-Plasmaquelle, die das Substrat und die Materialatome erwärmt, die dann vom Hf-Plasma geführt und auf das Substrat fokussiert wird. Für eine höhere Qualität und Reproduzierbarkeit des Dünnfilms wird ein Superhochvakuum verwendet, um unerwünschte Gase oder Partikel vom Eintritt in die Abscheidekammer auszuschließen. Umgekehrt wird eine Turbopumpe verwendet, um Dämpfe und unerwünschtes Material aus der Kammer zu entfernen. Zur Steuerung der Parameter des Abscheideprozesses, wie Temperatur und Zeit, wird eine I/O-Steuerung und Schnittstelle verwendet, um Befehle und Daten an das Modell zu senden. Die Geräte können über eine GUI (grafische Benutzeroberfläche) betrieben und überwacht werden, um die Genauigkeit und Reproduzierbarkeit des gewachsenen Dünnfilms zu verbessern. Insgesamt ist VEECO GEN II ein hervorragendes System für MBE, das Dünnschichtmaterialien mit hoher Genauigkeit, Präzision und Reproduzierbarkeit anbaut. Mit seinen Komponenten und erweiterten Fähigkeiten ist dieses Gerät ideal für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen.
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