Gebraucht VEECO Gen II #9107591 zu verkaufen
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ID: 9107591
MBE System
Chamber with (8) source flange size, 2.75”
MBE Components:
RHEED System
Sample manipulator with flux monitor
QMS Head
Glove box
Pumps:
Cryo pump
Lon pump
Turbo pump
(2) Ion pumps:
Main chamber (600 l/m)
Buffer chamber (150 l/m) with (2) power supplies
(2) Ti-Sublimation pumps
With power supplies in the base of the main chamber
Manipulator, 2"
With servo motors for rotation
Position setting
Control unit
Heater power supply
Thermo-couple controller
Beam flux
Monitor and controller
(2) Ion gauges:
With (2) power supplies and controllers
Main chamber
Load lock
Load lock for 6 wafers
With heater for pre bake out with its power supply
Temperature controller
Electrical distribution panel
Bake out panels with electrical connections
Eight shutters with their control units
Utility distribution box for water, air, N2
QMS, Power supply & display unit
Operating system and computer
(6) Sample holders
Baffles head for main chamber turbo pump
Gaskets silver coated copper gaskets
Mixing manifold
With (2) leak valves and tubing for gas interceptor
Sulfur automatic valved cracker with:
(2) Temperature zones
100 CC Quartz crucible
(2) Power supplies
(2) Temperature controllers
Servo motor and controller and cable
Oxygen plasma source with:
RF Power supply
Matching unit
Leak valve
Water flow meter and filter
High temperature effusion cell with:
Temperature zone up to: 2000°C
10 CC Crucible
Power supply & temperature controller
Low temperature effusion cell with:
(2) Temperature zones (Base and tip)
25 CC PBN Crucible
(2) Power supplies
(2) Temperature controllers
Gas injector with:
Single heater
Power supply
Temperature controller and display
Mixed manifold with two leak valves and tubing
Options:
QCM Integrated
With machine for film thickness monitor
RHEED System
With 6" phosphorous screen and detector and camera
E-beam gun with power supply and control unit.
VARIAN/VEECO GEN II Molecular Beam Epitaxy (MBE) ist ein hochentwickeltes Mehrbenutzer-Abscheidungssystem zur Dotierung und Abscheidung einer Vielzahl von Halbleitermaterialien. Diese hochmoderne MBE-Einheit ermöglicht eine präzise Steuerung der Abscheidungsumgebung zur Erzielung hochwertiger Schichten mit ausgezeichneter Reproduzierbarkeit. Diese Maschine ermöglicht die Abscheidung von hochwertigen und gleichmäßigen Schichten von Halbleitermaterialien wie Galliumarsenid und Indiumgalliumarsenid. Der Abscheidevorgang wird in einer Vakuumkammer durchgeführt, wo das abzuscheidende Substrat auf einen beheizten Halter gelegt wird. Drei Arten von effusiven Zellen, hergestellt von Caesars werden mit dem Werkzeug verwendet; ein Arsen, ein Gallium und eine Indiumzelle. Die Kombination dieser drei Zellen gibt dem Anwender die Flexibilität, komplexe und spezialisierte Dünnschichtstrukturen zu schaffen. Der Basisdruck der MBE-Anlage wird auf 4-6 x 10-7 mbar gehalten, und es wird ein separates Lastschloßmodell verwendet, um den Druck vor dem Einsetzen in die Vakuumkammer weiter zu reduzieren. Zusätzlich enthält die Anlage eine thermische Oxidationseinheit, einen Ozongenerator und zwei Stickstoffleitungen, um die Oberflächenvorbereitung und Wachstumsverbesserung zu unterstützen. Der Substrathalter wird elektrisch beheizt und mit einer Reihe von Thermoelementen temperaturgeregelt, wodurch gleichmäßige Temperaturen auf allen Bereichen der Probe erzielt werden können, wodurch eine Präzisionsregelung für die Dünnschichtabscheidung gegeben ist. Die voreingestellten Temperaturen reichen von 200 K bis 1.000 K. Darüber hinaus verfügt VEECO GEN II über ein modernes Softwarepaket, das eine Vielzahl nützlicher Funktionen zur Steuerung des Quellenemissions- und Abscheideprozesses bietet. Die Software umfasst einen umfassenden Satz von Werkzeugen zur Simulation von Wachstumsprozessen, zur Definition von Schichtstrukturen und zur Durchführung verschiedener Parameterberechnungen. Mithilfe leistungsstarker parametrischer Optimierungsfunktionen können Anwender auch detaillierte Simulationen ihrer Dünnschichtstrukturen entwickeln, um die Leistung ihrer Proben zu maximieren. Es ermöglicht Benutzern auch, grafische Benutzeroberflächen zu erstellen, um ihnen eine bequeme Möglichkeit zum Einrichten und Überwachen von Experimenten zu bieten. VARIAN GEN II MBE-System wurde entwickelt, um eine breite Palette von wissenschaftlichen und industriellen Anforderungen zu erfüllen, so dass Benutzer ihre Forschungsanwendungen auf die nächste Ebene zu bringen. Diese fortschrittliche Einheit ist in der Lage, qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen und bietet die Flexibilität, verschiedene Materialien atom für Atom zuzuordnen, um komplexe Dünnschichtstrukturen zu schaffen.
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